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基于光学相控阵理论和钛扩散铌酸锂光波导的导模特性，提出了一种新型阵列集成光波导应用于光学相控。根据光束传输法（BPM），并结合现有半导体工艺水平及参数，对该阵列波导的导光特性，损耗特性以及耦合特性进行了仿真计算，最终给出了相控阵的结构设计参数。结果表明，应用该集成阵列波导的光学相控阵结构可实现光束连续精确定向偏转，偏转角度可达依4.5毅，相位控制半波电压小于 6 V，其系统光学控制单元损耗低且响应速度快。
光学相控阵是基于微波相控阵理论发展起来的新型光束指向控制技术遥其核心部件之一是光学相位控制器件袁近年来被广泛研究的主要有采用压电陶瓷型的光纤延迟线［1］尧液晶阵列移相器［2］尧波导型电光移相器［3］等遥 随着半导体工艺的不断发展袁以电光晶体作为相位控制器件日趋成熟袁该器件是利用电光晶体的双折射效应袁通过改变加载在不同单元电压实现相位控制袁具有快速尧灵活尧高精度等优点［4］袁是当前研究的热点遥 在光学相控阵中袁通过控制相邻光束的相位差就可以实现合成光束定向偏转遥目前袁国内外常见的光学相控阵均基于规则相控阵理论袁 而相控阵中单元间距限制了扫描范围和扫描精度袁为了缩小相控阵单元间距袁基于不同材料和结构的波导型相控阵不断被提出和证实［3，5］遥 这种方法虽然有效地提高了占空比袁但是相邻单元间的串扰却影响了扫描精度遥。
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