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电子发烧友网>电子资料下载>传感与控制>硅岛式微谐振压力传感器灵敏度分析与仿真

硅岛式微谐振压力传感器灵敏度分析与仿真

2021-03-18 | rar | 0.38 MB | 次下载 | 免费

资料介绍

  微谐振式压力传感器尺寸小、重量轻、精度高并具有数字输出, 在航空航天等领域有着广阔的应用前景。然而由于微机械加工工艺的限制, 复杂结构的制作存在很多困难, 因而为实现高灵敏度压力测量, 微谐振式压力传感器的结构设计就显得尤为重要, 因此提出一种新型硅岛式谐振梁支撑结构, 它利用硅薄膜作为典型的一次敏感元件, 并在其上表面中央部位设计了两个硅岛凸起平台, 用以固定硅谐振梁, 并通过有限元软件ANSYS 进行仿真。分析结果表明, 在一定量程内, 该结构能有效提高谐振梁内的应力放大倍数, 进而提高微压力传感器的灵敏度。

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