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光刻机扫描曝光模型
扫描曝光过程的抽象模型如图 1 所示 。激光器发出的脉冲光束经过光路传输系统， 从开口大小可调的狭缝中投影到工件台上， 形成投影光斑 。当曝光场前沿与光斑前沿重合时 ，扫描开始;此后曝光场匀速经过投影光斑;当曝光场后沿与光斑后沿重合时 ，扫描结束 。
光刻机剂量控制器结构
扫描投影光刻机剂量控制系统如图 2 所示 ，从准分子激光器发出的脉冲激光， 先经过底端照明光路（包括光束扩充镜组、定位 定向镜组、缩放 锥形镜组等）和可变透过率衰减片， 到达能量传感器， 再经过顶端照明光路（包括光能量均匀棒 、扫描狭缝、照明镜组等）、掩模版和投影物镜， 最终投射到硅片表面。光路中安装有一个能量传感器， 测量每个激光脉冲的能量并结合实时调节算法， 计算出下一个单脉冲能量的设定值;最后通过能量 电压转换关系将能量设定值转换成电压设定值， 以达到控制激光器单脉冲能量并保证剂量精度的目的 。
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