北京北方华创微电子装备公司研发新型电源控制技术与装置、半导体

天眼查数据显示，北京北方华创微电子装备有限公司于2024年4月5日公开了一项名为“电源控制方法和装置、半导体工艺设备”的专利，编号为CN117832051A。

此项技术主要涉及到电源控制以及半导体工艺设备领域。具体而言，该专利包括如下步骤：首先，启动待控制电源；接着确定该待控制电源是作为上极电源还是下极电源工作；然后，获取待控制电源的反射功率信息；根据反射功率信息计算出维持待控制电源开启所需的第一补偿时长；最后，将待控制电源的开启时长更新为设定开启时长与第一补偿时长之和，并在达到更新后的开启时长时关闭待控制电源。

据称，这项技术可有效提升晶圆间刻蚀的一致性，防止刻蚀量不足，从而提高产品良率。