深圳要建12英寸MEMS中试线？南山区发布智能传感器发展重磅文件！

来源：深圳市南山区工业和信息化局

据传感器专家网获悉，11月2日，深圳市南山区工业和信息化局发布《深圳市南山区创新型现代产业体系“十四五”发展规划》(以下简称《规划》)。《规划》提出：到2025年，南山区创新型现代产业体系建设的总体目标是形成一批国际影响力强、创新潜力足的产业集群，打造成为全国现代产业高质量发展典范。《规划》政策原文请点击文末【阅读原文】链接查看。

智能传感器产业集群方面，《规划》提出“打造满足小批量微纳制造的公共服务平台。推动建立基于MEMS 工艺的8英寸或12英寸研发中试产线，加快搭建智能传感器检测检验公共服务平台……”等一系列措施。

《规划》提出：贯彻落实市“20+8”产业集群统一部署，南山重点围绕网络与通信、半导体与集成电路、超高清视频显示、智能终端、智能传感器、软件与信息服务业、数字创意、现代时尚、智能机器人、精密仪器设备、智能网联汽车、高端医疗器械、生物医药、海洋产业等十四大产业集群，夯实战略性新兴产业发展基础，打造占据全球价值链领先地位的新兴产业集群。前瞻谋划区块链、脑科学与类脑智能、细胞与基因、合成生物、可见光通信与光计算、深地深海、空天技术七大未来产业集群。

针对智能传感器产业集群，《规划》提出：以“瞄准高端、设计引领、应用牵引”为主线，建立智能传感器全流程设计体系，聚焦终端应用和智慧城市感知两个重点领域，加快突破一批重点产品，打造传感器创新城市场景，引导智能传感器技术、人才、资本、服务等创新要素聚集，将南山打造成智能传感器硬科技产业基地。

建立设计实现支撑体系和企业培育服务体系。聚焦声学、光学、生物和运动等领域高端智能传感器研发，打造集传感器总体结构设计、敏感元件设计、加工工艺设计、外围电路设计、软件算法设计等内容的全过程设计体系，支持龙头企业设立智能传感器工业设计中心，探索组建智能传感器工业设计研究院。推动智能传感器设计与验证软件工具开发及应用，提升器件结构设计与验证、MEMS+ASIC 协同设计、产品性能仿真等方面的软件和 IP核库开发，重点培育具有首版次软件研发与推广能力的专精特新企业。

以应用带动智能传感器产业发展。推动智能传感器企业嵌入国内外应用端龙头企业供应链体系，支持开展智能终端、智能汽车等领域的供应商资格认证，推动智能传感器企业向模组、设备、系统和解决方案等产业延伸。鼓励终端应用企业的智能传感器供应商落户集聚，支持潜在新产品优先纳入本土供应链体系。引进培育全球知名电子元器件经销商和集成商，为智能传感器企业提供规模化经销渠道。加快传感器产品在南山智慧城市建设中的示范应用，依托智慧水务、智慧交通、智慧安防、环境监测等领域前端感知网络建设，实施“321”应用计划，力争在每个应用领域南山至少拥有 3 种传感器系列产品、2家代表性企业以及 1 套整体解决方案。

打造满足小批量微纳制造的公共服务平台。推动建立基于MEMS 工艺的8英寸或12英寸研发中试产线，加快搭建智能传感器检测检验公共服务平台，为中小微企业提供设计、制造、快速封测、应用示范推广等服务。支持龙头企业与终端应用企业、高校和科研院所等成立智能传感器产业联盟，积极争取市级创新中心落户，推动上下游企业建立更紧密的合作关系。

针对精密仪器设备产业集群建设，《规划》提出：发挥南山良好的精密仪器设备产业集群基础，加快突破芯片、算法等产业链关键环节，推进重点产品核心技术自主化进程，实现部分高端产品“国产化替代”，形成一批国际知名品牌和细分领域特色品牌。完善配套服务建设，着力将南山打造成为体系完整、优势显著、具有影响力的精密仪器设备研发创新引领区。

支持产品高端化发展。支持重点企业加大核心算法、芯片、传感器、减速器等关键技术和核心零部件研发，为智能网联汽车、节能环保、集成电路设备、智能机器人等重点产业高质量发展提供有力支撑，提升高端精密仪器设备自给率和自主化率。加快光谱仪、色谱仪、质谱仪、扫描电镜、体外诊断等科学分析仪器领域布局建设。加快推动精密仪器设备向智能化、集成化、自动化方向发展，提升产品核心竞争力。鼓励龙头企业通过海内外并购方式完成产业布局，掌握核心技术，提升高端产品市场占有率。

强化产业支撑服务。围绕产业共性关键技术需求，探索创建精密仪器制造业创新中心，高标准建设高端科学仪器研制中心等重大平台项目。积极发挥广东省医疗监护仪器工程技术研究中心、深圳单分子检测技术与仪器开发工程实验室、南山区大型科学仪器共享平台和创新型企业集聚优势，依托深圳高新区、科技生态园、南山智园，重点打造精密仪器设备研发创新集聚区。加强对产业复合型人才、高层次人才、高技能人才引培，加快精密仪器设备产业配套建设。

审核编辑 黄宇