一分钟带你了解EBSD的操作过程

不同型号扫描电镜的操作步骤会有一些差异，各厂家的EBSD系统，特别是控制SEM的软件都不一致。但基本操作步骤是相似的，下面给出一般的步骤，其目的是使初学者有个感性认识，同时帮助比较快地了解此技术。

01

启动扫描电镜、EBSD控制计算机、EBSD图像处理器（一般需要30min的稳定时间）。

02

装入样品，使样品坐标系与电镜坐标系重合；一般使样品边缘平行或垂直于拉伸或平行（垂直）于轧向，注意使用电镜上的十字交叉对准线，水平移动样品看是否一直与屏幕保持平行，不平行时绕Z轴旋转样品进行调整。

03

样品倾转70°，使样品面对EBSD探头（若使用倾斜的样品台，则省去倾转操作）；进行倾转校正及动态聚焦；工作距离调到15~25mm；

04

插入EBSD探头，以点模式产生菊池花样（若此时有菊池带，测量就基本没问题了。）

05

回到扫描电镜图像分析模式，使电镜处在最快的扫描速度，在EBSD系统计算机上进行菊池花样的扣背底。

06

再转回到点模式，看扣背底后的菊池带效果，并调整图像处理器上或其软件窗口中的亮度，衬度，优化菊池带。

07

在EBSD控制计算机上起动EBSD数据获取软件，创建存储数据的文件名，调入参照对比用的晶体学库文件，同时调入探头取向的校正文件（calibration file）。

08

选几个菊池花样进行自动标定，检查标定的可靠性和误差大小，校正工作距离。

09

确定取向成像测定时的相应参数，如步长大小、X/Y方向的测定点数、放大倍数，起动“自动进行”按钮；

10

取向成像完成后，最好对测量区域照张形貌像，作为EBSD取向成像图的对比。抽出EBSD探头，样品倾转回水平位置。关闭电镜上的电流、电压及EBSD控制计算机及图像处理器。

审核编辑：刘清