嘉芯半导体与嘉善复旦研究院签署战略合作协议

嘉兴嘉善世博开元名都酒店成功举行嘉山复旦研究院开园仪式。本次活动由加山县人民政府和复旦大学共同主办，嘉善复旦研究院承办。复旦大学党委书记裘新，复旦大学校长、中科院院士金力，复旦大学常务副校长许征，浙江省科技厅二级巡视员曹华芬，嘉兴市委书记陈伟，嘉兴市副市长倪沪平，嘉兴市委常委、嘉善县委书记江海洋，嘉善复旦研究院院长张卫等人参加的开院仪式、活动现场，近200人见证了佳善复旦研究院的正式开院。在开院仪式上，万基企业（600641）旗下的嘉芯半导体设备科技有限公司（以下简称“嘉芯半导体”）与资产复旦研究院达成了战略合作。嘉善复旦研究院副院长丁士进先生、嘉芯半导体设备科技有限公司董事长兼CEO周伟芳女士等领导参加战略签约仪式。

根据战略合作协议的内容，双方将在公平自愿，平等互利共赢的开放优势互补”的原则，建立战略合作伙伴关系，共同集成电路领域的科学研究、产业合作、人才交流等方面长期稳定的合作关系，充分发挥各自的资源优势，共同发展战略目标的实现。合作，围绕重点科技合作、产业合作、人员交流三个方面的技术突破，创新平台项目申报，科技成果转化推广、研发及服务资源开放共享、产-学-研深度融合等领域的全方位互利合作促进储存及资产集成电路发展高品质“里”。

从整体实力看，战略合作双方在各自领域积累了长期经验和技术，具有广泛优势集成和合作互补的基础。作为本半导体芯片半导体核心装备的新锐本土企业之一，2021年4月，半导体装备上市公司与企业携手，世界著名产业专家共同投资成立，总投资规模20亿元，用地109无公司开发制造刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等集成电路成熟工艺的关键设备，产品范围包括芯片制造核心设备的多个重要品种。从2022年下半年开始，嘉芯半导体多次中标客户特色工程生产线，包括氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、深槽刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机；高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD）、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）、钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）、铝铜金属溅射设备（Metal Sputter（Al/Ti/TiN））；快速热处理（RTP）设备以及双燃烧+双水洗尾气处理等各种设备。

嘉善复旦研究院是为响应和实行《长三角一体化发展规划纲要》国家战略而建设的重点实验室。依托复旦大学集成电路产业链学科优势，研究院致力于高能创新载体建设，科研攻关和成果转化，地区产业升级，协同创新生态构建，数字化改革等。作为第一届国家集成电路创新中心浙江分中心重点建设，研究院承担起复旦大学人才资源，创新资源，产业资源与浙江地区特色经济相衔接的“桥头堡”，推进长江三角洲一体化协同创新产业体系建设。

在战略合作象征着双方深化合作、协同发展的路上新的里程碑作用充分发挥产业+学术研究轮子驱动功能，提高技术创新能力，实现双向优势赋予可以加快科研成果转化，同时在线技术开发、人才培养、学校开拓市场等方面产生的强大协同效应为我国集成电路行业的发展注入了芯片的活力。

展望未来，芯片半导体集成电路领域的发展方向，继续聚焦在嘉善复旦研究院和持续有深度的合作，开拓关键产业链条、关键技术、关键产品的能量水平持续提高，中国集成电路产业的快速发展不断贡献智慧和力量，为实现的。