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滤芯完整性测试丨PFA系列全氟滤芯

华林科纳半导体设备制造 来源:华林科纳半导体设备制造 作者:华林科纳半导体设 2023-07-21 17:21 次阅读

滤芯是过滤器的“心脏”,滤芯的好坏直接决定了过滤器的过滤能力,因此对滤芯进行完整性检测非常重要。只有通过完整性测试的滤器,才能保证在整个过滤过程中的效率。

滤芯结构

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华林科纳PFA系列全氟滤芯

华林科纳PFA系列全氟滤芯采用高洁净度的PTFE膜和PFA氟材料制作,适用于所有流体(强酸、强碱等)液体过滤。

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·封口有多种型号可选

·滤膜孔径分布均一

·加强支撑层,高压工作下无破损

·折叠设计增加过滤表面积

·中心杆及端盖均采用热熔焊接技术

·洁净室生产

·100%完整性测试

什么是膜的完整性

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(污染物大于膜孔)

完整滤膜 非完整滤膜

可以清晰的看到,完整滤膜下游是没有任何污染物的,而非完整滤膜存在的缺陷会是使下游存在污染物,影响过滤效果。

滤芯完整性测试的三种方法

1.起泡点试验

测试原理:

需要一定压力才能使气体冲破已经湿润的滤膜,气体大量从膜孔流出这一点的压力值是这个膜的泡点。

测试方法:

① 在下游(滤器出口管)充满液体,缓慢加压后,下游管子流出的液量突然增加时,此时的压力即为起泡点压力;

② 在下游管子没有液体,缓慢加压后,至有连续不断的气泡流出,此时的压力即为起泡点压力。

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滤芯泡点测试实验装置 膜片泡点测试试验装置

起泡点试验图:

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2.扩散流试验

测试原理:

当滤膜被液体润湿后,上液通入压缩空气或氮气;当膜两侧存在压力差时,气体分子溶解至液体中并在膜的另一侧扩散出来。该扩散气体的流量即为扩散流。

测试方法:

当用仪器来测扩散流时,需要补充气体的流量以保持上游压力不变(低于泡点压力),来测得从上游扩散至下游的流量。

扩散流试验图:

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3.压力保持试验

测试原理:

压力保持试验原理与气体扩散试验原理相同,只是测量的参数不同。压力保持是检测在一定时间内扩散流引起的上游压力的衰减。扩散流与上游体积无关,而压力保持试验必须考虑上游体积。

测试方法:

当测试气体的压力升高到给定数值时(一般为测扩散流时的压力),关闭气源,气体通过膜孔里的水扩散出去,导致上游压力的损失。通过检测在一定时间内上游压力损失的情况判断滤器的完整性。

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审核编辑 黄宇

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