陆芯精密切割机解说UVLED解胶机在晶圆芯片行业的应用及原理

UVLED解胶机是用来解除UV胶膜和切割膜胶带之间粘结的全自动解胶设备。许多晶圆半导体行业在生产过程中，需要先把晶圆切片用划片胶固定起来，然后进行划片加工处理，最后通过UVLED光源对固定好的晶圆切片进行照射，使晶元切片上的UV胶膜发生硬化，从而降低与切割膜胶带之间的粘性，从而达到轻松将胶带从晶圆切片上取下来，UVLED解胶机完美的解决了晶圆行业、玻璃制品和陶瓷切割上的解胶工序。

UVLED解胶机采用箱体式结构，机器内部配有UVLED紫外光固化设备，可根据客户的使用需求，定制波段大小、照射面积、光照强度等参数。采用智能显示屏控制系统，可随意调节功率大小、照射时长，使用非常方便！同时UV脱胶机箱口采用手拉式结构，方便晶圆切片的放置和取出；另配有门禁感应装置，拉动箱口门把手时，UVLED光源设备会自动停止，避免紫外光源的外溢。

UVLED解胶机还有哪些优势之处呢？UVLED紫外光是单波段“冷光源”设备，被照射基材表面升温小，有效解决了晶圆行业在加工处理时产生的热损害现象。UVLED解胶机的光源设备使用寿命比较长，平均使用寿命大约在20000h左右，远超传统UV汞灯的使用时长。UVLED光源是单波段紫外光，通过电能向光能的转换，光电转换有效率高，可有效节约电量的使用。不含“汞”污染，工作时不会产生臭氧，影响工作环境！

陆芯精密划片机于2022年3月24日下线了公司首台6寸晶圆尺寸的专用划片机：XL3252，目前已经开始接受全球预定。

此次陆芯推出的6寸专用精密划片机，在软件方面继承和优化了公司最新的软件技术，如：工件形状的识别和功能，更友好人机界面。由于机械结构和电子结构相对最先进的XL-6366要简单。所以，在设备后期的维护成本上会更低，这对于只需要用到6寸划片机的厂商来讲无疑是个巨大的福音，并且陆芯在设备的交货周期上，也比最先进的设备交期提前不少。