光学3d表面轮廓仪是干嘛的

白光干涉仪属于精度高达到亚纳米级别的检测仪器，对使用的现场环境（地面振动、空气中声波振动）比较敏感，因此中图的光学3d表面轮廓仪底下都是加了气浮平台进行隔振的。

光学3d表面轮廓仪是干嘛的？

中图仪器光学3d表面轮廓仪应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。为工件的微观三维形貌和表面特征分析提供可靠依据，降低了劳动强度，提髙了生产效率。

产品性能特征

1、高精度、高重复性

3D重建算法、精密Z向扫描模块和光学干涉技术组成的测量系统，以及能有效隔离2Hz以上频率的隔振系统，保证了测量精度和测量重复性。

2、一体化操作的测量分析软件

测量数据自动统计，可视化窗口，结合自定义分析模板的自动化测量功能，实现了快速批量测量的功能，自动完成多区域的测量与分析过程。

3、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成Z向聚焦、载物台平移、找条纹等测量前工作。

4、双重防撞保护措施

（1）软件防撞保护ZSTOP

即在Z轴上设置停止位，设置位置到样品表面的距离小于镜头的工作距离，当镜头运动到该位置时，就立刻停止不再向下运动，起到保护样品和镜头的作用。

（2）Z轴硬件防撞传感器

在镜头的上方安装有机械防撞传感器，当镜头向下位移与样品表面直接接触时，触发感应器，镜头与样品表面变为软接触，并触发紧急停止开关，不再响应向下位移的指令，避免镜头和样品的损伤，双重防护，守护设备和产品，也守护每一分价值和信任。