各类传感器的派瑞林涂层防护

MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。

MEMS传感器通常被分为以下7类：

1、压力传感器和计量压力的传感器。

2、热学传感器：温度和热量传感器。

3、力学传感器：力、压强、速度和加速度传感器。

4、化学传感器：化学浓度、化学成分和反应率传感器。

5、磁学传感器：磁场强度、磁通密度和磁化强度传感器。

6、辐射传感器：电磁波强度传感器。

7、电学传感器：电压、电流和电荷传感器。

除了上面介绍的几种典型的MEMS传感器外，还有许许多多的MEMS传感器，如用于微观判断的MEMS触觉传感器、MEMS生物传感器、MEMS图像传感器等。在不同环境中，MEMS传感器的技术应用也是不同的。但是，无论何种传感器，都需要有防护涂层才能够使其延长使用寿命。

派瑞林是一种新型敷形涂层材料，是一种对二甲苯聚合物，它具有化学惰性，不溶于酸、碱和有机溶剂，并能抗水解剥蚀，由这种技术形成的薄膜涂层能覆盖到丝织物的棱边和缝隙内。其表面呈疏水性，对水汽和腐蚀性气体渗透性差，热稳定性好，在酸雾、霉菌、潮湿、腐蚀性等恶劣环境中有很好的隔离防护功能。派瑞林(Parylene)膜层因其生成环境温度较低、介电常数小、润滑性好、摩擦系数低、绝缘性和防腐性好等特点，在多个领域得到广泛应用。

目前传感器敏感元件直接暴露在使用环境中，缺乏防护涂层，容易受到水汽和盐雾等恶劣环境的影响，从而导致传感器敏感元件的使用寿命较短，派瑞林(Parylene)可在真空下气相沉积，其活性分子的良好穿透力能在元件内部、底部，周围形成无针孔，厚度均匀的透明绝缘涂层，给传感器敏感元件提供一个完整的优质防护涂层，抵御酸碱、盐雾、霉菌及各种腐蚀性气体的侵害。

另外，派瑞林涂层技术因其涂层均匀、致密、超薄，不会改变传感器的灵敏性、外观、尺寸、弹性等，近年来在传感器表面镀膜Parylene已经成为一种趋势，经Parylene镀膜防护的传感器包括汽车传感器、腐蚀环境用传感器、生物医学传感器、声学传感器、生物医学电极和植入传感器等等。Parylene对传感器的保护除了绝缘防护外，更多是用做恶劣环境防护材料，Parylene膜层能耐酸、碱和有机溶剂，对水汽和盐雾等恶劣环境有极好的阻隔防护能力。

审核编辑 黄宇