什么是DPT中的Odd Cycle问题？它会有什么问题？该如何解决？

问题：什么是DPT中的Odd Cycle问题？它会有什么问题？该如何解决？

 

一层Metal由两层Mask来成型，每一层Mask上相邻Shape的最小间距即为DPT Spacing。

如果在一个版图上存在着奇数个Shape围成的圈，且相邻的Shape之间的距离小于DPT Spacing（这就意味着它们需要涂上不同的Color），那么就会形成DPT Odd Cycle问题。

这种问题会造成它们无法被合理涂上两种颜色，也就是没办法分到两个Mask上而不引起DRC。

右下角是一种涂色方案，可以看到，Shape B和C的颜色相同，但是它们的距离小于DPT Spacing的要求，因此不能被分配到相同的Mask上。由于存在奇数个Shape，因此无论怎么去涂色，在不改变Layout的情况下，总会存在冲突的地方。



解决方案： 在任何一个地方，将两个相邻的Shape距离增大到DPT Spacing（或者更大）就可以修复这种问题，因为这样原来没办法分到两个Mask上的Shape（比如上图中的B和C）就可以被分到两个Mask上了。

如下图所示：



对于DPT工艺的绕线，允许多个Shape彼此之间的距离小于DPT Spacing的要求，只要它们没有产生Odd Cycle问题就可以了，这个是与普通工艺的绕线的一个很大的不同之处。




审核编辑：刘清