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cascade常温和高低温载物台的详细说明

芯睿科技 来源:芯睿科技 作者:芯睿科技 2022-06-29 18:09 次阅读

载物台和温控系统

所有FormFactor探针台集成专门开发的ATT常温载物台或高可靠性的高低温载物台。根据您的应用、温度和性能要求,我们提供温度范围从-60℃到300℃的多种温控系统,也提供市场上功能最强大,性能最快,到极其经济的成本最低的温控系统。

我们的载物台表面镀镍或镀金,保证卓越的电气性能。MicroVacTMFemtoGuardTM专利技术可提供先进的测量精度和超低的接触电阻,且适用于翘曲/薄片。

模块化设计提供方便、经济高效的升级途径,可提供最高的投资安全性和最简便的定制需求。

全热范围温控系统(-60℃到300℃)

  • 最强大,最快的高性能系统,可满足苛刻的要求
  • 市场上最短的温度迁移时间
  • 可选的ECO模式,可比市场上其他系统降低空气消耗量(CDA)(365l / min)

经济型温控系统(-40℃到300℃)

  • 空气消耗量(CDA)比市场上其他系统(300l / min)低25%
  • 功耗模式:过渡时间比市场上其他系统快15%
  • 最佳性价比、宽温度范围温控系统

仅加热型温控系统(+20/+30℃到300℃)

  • 模块化和现场可升级到低温(-40°C或-60°C):随您的需求而增长
  • 受控环境技术(+ 20°C):精确的温度控制,甚至低于环境温度,也无需额外的冷却器

除了我们技术领先的同轴和三轴载物台温控系统,我们的产品组合还补充了以下专用载物台:

  • 射频/微波载物台,最多配备三个辅助载物台,用于放置校准片和/或清洁片
  • 可放置Taiko晶圆的大功率测试载物台,具有防电弧方案和自动对齐功能,可提供高效和高精度测量,同时提供经过认证的安全测试环境
  • 双面测试载物台:获得专利的双面设计可以放置各种不同尺寸和设计的基板。主要用于发光器件,也可用于固定特殊的衬底,如固定在方形金属载体上的MENS管芯
审核编辑:符乾江
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