OptoVue Pro为探针台带来更精确的校准结果

我们最近为CM300xi探针台推出了一些革命性的新型硅光子（SiPh）探针解决方案。这些新功能之一是专有的OptoVue Pro™，可在不移除当前被测试晶圆的情况下就地进行光学定位器校准。

OptoVue Pro位于CM300xi的辅助卡盘位置，包括功能丰富的工具集，可提供更快的时间来获得更准确的测量结果。它提供了先进的技术，可在不移除当前被测试晶圆的情况下就地进行光学定位器校准。这些无缝的自动校准可以在无需操作员干预的情况下执行，从而缩短了测量时间并降低了测试成本。此外，开创性的新设计提供了更多的光纤/阵列观察方向，从而带来了更精确的校准结果。

OptoVue Pro的其他独有功能是真正的水平边缘耦合和单个光子设备的探测，光纤和光纤阵列的检查和测量以及探头尖端的原位功率测量。

将这些功能进一步细分…

CalVue– CalVue支持Z位移和光学定位的原位校准。利用独特设计的后视镜技术，eVue的物镜照明可用于查看光纤/阵列的所有方面，而无需外部光。这消除了对倾斜照明的需求，并实现了实时的实时自动机器视觉校准。

PowerVue

使用高灵敏度光电二极管，PowerVue能够在光纤/阵列尖端进行原位功率测量，以了解进入设备的实际功率。它还可以用于测量和去除激光到光纤的路径损耗。

ProbeVue

使用一种新颖的设计技术，ProbeVue允许对单根光纤和光纤阵列以及DC和RF探头进行向上检查的探头检查功能。如果测量性能下降，则可以在原位查找探头的磨损或损坏。对于光纤阵列探测，通过能够找到从阵列角到V形槽中第一根光纤的初始阵列耦合偏移位置的功能，这非常有价值。

迪威

测试单个芯片并将测试转移到晶圆级的能力最终改变了新项目的批量生产时间。 DieVue是一个单独的裸片固定位置，可使用标准套件或定制裸片固定器将多达25x25mm的裸片真空固定，以用于表面和边缘耦合应用。 DieVue是业内唯一能够实现真正的芯片级水平边缘耦合探测和优化的解决方案。

审核编辑：汤梓红