配方管理系统RMS

配方管理系统RMS(Recipe Management System), 即对半导体工厂设备里面配方进行管控，支持Online和Offline比对，支持上传和下载。配方管理允许工厂主机在设备之间传输配方。它还要求设备在设备上的配方发生变化时通知工厂主机。

RMS信息流

上扬软件RMS使用C#开发工具，采用服务器端和客户端模式，Recipe Body解析部署在服务器端，能快速与自动化系统(EAP)整合。数据库则使用Oracle作为系统的数据库引擎。

RMS的主要功能

设备Recipe模型管理

对设备上所有Recipe List管理

对设备上所有Recipe Body管理

对设备上所有Recipe Body版本控制

Recipe Body比对（Online & Offline）

权限管控

步骤，参数，范围管控

RMS需与EAP联结，旨在实时管控自动化系统所用配方与用户当初的设定是否匹配，从而使得自动化系统所用的配方更加趋于安全，并对设备配方及其Recipe Body内容进行有效的存储、管理和控制。

通过与FA EAP（或其它EAP系统）和myCIM（或其它MES系统）结合，可以实现配方自动选择、自动加载、自动校验，能够确保配方的完整性并支持可追溯性，极大降低生产加工过程的用错配方的概率，极大降低操作员的工作强度。

审核编辑 ：李倩