半导体晶圆冷却装置在长时间的使用过程中,也需要对半导体晶圆冷却装置进行必要的检查和维护保养,定期维护有利于半导体晶圆冷却装置制冷效率,同时也有利于延长寿命。
1、检查并且校正半导体晶圆冷却装置温控器,确保温控器正常显示。
2、检查半导体晶圆冷却装置的冷媒量,如果不够,需要及时补充冷媒。
3、对半导体晶圆冷却装置的整个电控系统、主机电路系统做一次彻查,确保正常。
4、试机运行并进行总校正,测试过热度是否正常,各个部件有无异常声音等。
5、清洗半导体晶圆冷却装置的冷凝器/蒸发器,如果水质不是太差的话,建议累积运行半年清洗一次。半导体晶圆冷却装置在长时间运行当中,会有很多水杂质产生,会影响制冷效果以及使用寿命等。
6、检查冷冻油及润滑油系统,如有污染建议对其进行更换,以利压缩机更加自如的运转。
7、对半导体晶圆冷却装置压缩机马达线圈进行测试。
8、检查并且校正半导体晶圆冷却装置的高、低压压力开关,确定高、低压压力在正常范围内。
9、检查干燥过滤器是否正常,有没有堵塞,必要时应予以更换全新的干燥过滤器。
责任编辑:YYX
声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。
举报投诉
-
半导体
+关注
关注
327文章
24431浏览量
201842 -
晶圆
+关注
关注
52文章
4511浏览量
126384
发布评论请先 登录
相关推荐
芯片金线包封胶的使用注意事项是什么?
芯片金线包封胶的使用注意事项是什么?金线包封胶是一种高性能、高粘度的密封胶,广泛应用于电子、电器、汽车等领域。它具有良好的防水、防潮、防震等性能,能够保护产品内部零件不受环境影响,提高产品的使用寿命
动态补偿装置的元件构成与注意事项有哪些?
动态补偿装置的元件构成与注意事项有哪些? 动态补偿装置是一种用于对电力系统中的无功功率进行补偿的装置,它通过引入无功功率,来提高电力系统的功率因素,降低无功电流,改善线路的负载情况,从
电主轴使用时的注意事项?|深圳市恒兴隆机电有限公司
电主轴使用时的注意事项?相信不少人是有疑问的,今天深圳市恒兴隆机电有限公司就跟大家解答一下!主轴的控制和使用步骤需要客户和使用者的不同经历保障,由于产品质量可靠电主轴的可遇不可求导致整个主轴市场
发表于 05-04 10:50
评论