超声电机中设备R轴及微型机械臂的应用分析
超声电机压电致动器驱动的设备R轴应用，超声电机高精度（约为0.005°）、可中空、体积小、扭力大、断电自锁、适应温度范围-40℃到105℃，配合外置或者内置闭环控制进行高精度，可应用于设备R轴及微型机械臂应用。
目前设备R轴及微型机械臂，普遍使用伺服电机、步进电机，控制方案，但是方案体积大，重量大，运动精度低，无法中空，结构配件要求笨重，一般精度无法到达0.005°级别。
压电致动器驱动的设备R轴及微型机械臂，超声电机高精度、可中空、体积小、重量只有15克，扭力大任意组合，不产生干涉。
微型体积输出大推力，闭环控制，将微型高精度闭环控制系统安装在微型超声电机背部，实现位置反馈，运动过程中将信息传导到超声电机0.005°闭环控制电路从而控制微型超声电机精准运动。
超声电机伺服控制电路支持物理限位寻零功能。使用超声电机技术制作的滑台具有明显优势。
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