韩企开展开脱日行动,SK集团高纯度氟化氢预计明年上半年量产

7月26日消息，为应对日本出口限制，韩国大企业开始展开脱日行动，SK集团计划通过子公司生产高纯度氟化氢，并在明年上半年投入量产。

据韩国《etnews》、《朝鲜日报》等多家媒体报道，SK集团子公司SK Mertials计划今年完成试制品，筹备生产高纯度氟化氢。SK Mertials相关人士表示，正在开发相关生产设备，目标是在年底提供样品。

在日本对韩出口限制名单中，氟化氢便是其中一个品项，韩国氟化氢有41.9％从日本进口，其中高纯度氟化氢（99.999％以上）有9成以上依赖日本。

氟化氢是半导体材料蚀刻气体的原料之一，在芯片制造工程中，用于刻画电路、清洁硅片异物，其中气态与液态的氟化氢能够混合使用，液态产品被称为蚀刻液，气态则是蚀刻气体。

SK Mertials计划制造气态的氟化氢，即蚀刻气体，并供应给半导体业界。《etnews》指出，由于SK年底才会推出样品，明年上半年有望投入正式量产。

SK Mertials自1982年起生产半导体材料，是韩国首度国产化三氟化氮（NF3）的企业，三氟化氮为半导体、显示器、太阳能电池原料之一，此外也生产工业燃气六氟化钨（WF6），供货给石油产业、钢铁产业。

虽然SK Mertials拥有丰富制造经验，但首次生产氟化氢引起外界关注。SK Mertials对此表示，过去曾处理过原料氟，并累积许多相关制造经验，拥有制造高纯度氟化氢的实力。

SK Matials尚未公布投资规模、生产能力（CAPA）等细节，加上产品也需经过质量鉴定，能否应用到半导体制程仍是未知数。