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tft制造原理与简单制造流程

2017年12月05日 08:42 次阅读

  何谓 TFT-LCD? TFT-LCD 即是 Thin-Film Transistor Liquid-Crystal Display 的缩写(薄膜电晶体液晶显示器)TFT-LCD 如何点 亮? 简单说, TFT-LCD 面板可视为两片玻璃基板中间夹着一层液晶, 上层的玻璃基板是与彩色滤光片(Color Filter) 结合,而下层的玻璃则有电晶体镶嵌于上。 当电流通过电晶体产生电场变化,造成液晶分子偏转,借以改变光线 的偏极性,再利用偏光片决定画素(Pixel)的明暗状态。 此外,上层玻璃因与彩色滤光片贴合,形成每个画素(Pixel) 各包含红蓝绿三颜色,这些发出红蓝绿色彩的画素便构成了面板上的影像画面。 TFT-LCD 的三段主要的制程: 的三段主要的制程: 前段 Array 前段的 Array 制程与半导体制程相似,但不同的是将薄膜电晶体制作于玻璃上,而非矽晶圆上。 中段 Cell 中段的 Cell ,是以前段 Array 的玻璃为基板,与彩色滤光片的玻璃基板结合,并在两片玻璃基板间灌入液晶 (LC)。 模组组装) 后段 Module Assembly (模组组装 模组组装 后段模组组装制程是将 Cell 制程后的玻璃与其他如背光板、电路、外框等多种零组件组装的生产作业。

 tft制造原理与简单制造流程

  TFT-LCD主要的三段制程:

  首先是前段Array

  前段部分的Array 制程和半导体制程相似,但是不同的是将薄膜电晶体制作在玻璃之上,而不是矽晶圆上面。

  然后是中段Cell

  中段部分的Cell ,是以前段的Array玻璃作为基板,和彩色的滤光片玻璃基板相结合,并且在两片玻璃基板之间灌入液晶(LC)。

  最后是后段Module Assembly (模组组装)

  后段模组的组装制程则是将Cell制程之后的玻璃和其他的如电路、外框、背光板等等多种零组件组装生产的作业。

  1.阵列制程(array)

  1)一片表面光滑,没有任何杂质的玻璃,是制造TFT玻璃基板最主要的原料。在制作之前,需用特殊的冼净液,将玻璃洗得干干净净,然后脱水,甩干。

  2)要使玻璃基板镀上金属薄膜,需先将金属材料放在真空室内,让金属上面的特殊气体产生电浆后,金属上的原子就会被撞向玻璃,然后就形成一层层的金属薄膜了。

  3)镀完金属膜后,我们还要镀上一层不导电层与半导电层,在真空室内,先将玻璃板加温,然后由高压电的喷洒器喷洒特殊气体,让电子与气体产生电浆,经过化学反应后,玻璃上就形成了不导电层与半导体层。

  4)薄膜形成后,我们要在玻璃上制作电晶体的图案。首先,要进入黄光室喷上感光极强的光阻液,然后套上光罩照射蓝紫光进行曝光,最后送到显影区喷洒显影液,这样可以去除照光后的光阻,还可以让光阻层定型哦。

  5)光阻定型后,我们可用蚀刻进行湿式蚀刻,将没有用的薄膜露出,也可用电浆的化学反应进行干式蚀刻,蚀刻后再将留下的光阻以溜液去除,最后就产生电晶体所需要的电路图案了。

  6)要形成可用的薄膜电晶体,需要重复清洗,镀膜,上光阻,曝光,显影,蚀刻,去光阻等过程,一般来说,要制造TFT-LCD,就要重复5到7次。

  tft制造原理与简单制造流程

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