我国首台艾司摩尔NXT2000i正式搬入SK海力士位于无锡的工厂

此前，光刻机霸主艾司摩尔（ASML）中国区总裁沈波在中国集成电路制造年会上表示，今年下半年艾司摩尔已开始出货家族最先进的NXT2000i，很快会在中国市场上也见到。如今，该消息正式被证实。12月19日晚间，中国首台艾司摩尔NXT2000i正式搬入SK海力士位于无锡的工厂。

此前有消息称，艾司摩尔已经开始出货新品Twinscan NXT:2000i DUV（NXT:2000i双工件台深紫外光刻机），可用于7nm和5nm节点。

NXT2000i将是NXE3400B EUV光刻机的有效补充，毕竟台积电/GF的第一代7nm都是基于DUV工艺。同时，NXT2000i也成为了艾司摩尔旗下套刻精度（overlay）最高的产品，达到了和3400B一样的1.9nm（5nm要求至少2.4nm，7nm要求至少3.5nm）。

据了解，艾司摩尔今年的EUV光刻机产能将达到20台，明后两年将逐步提升到40台。有消息称，中芯国际已向艾司摩尔订购了一台EUV光刻机，预计明年交付，用于7nm节点。

另外值得注意的是，无锡是SK海力士在中国的DRAM内存芯片生产基地，目前月产能约为14万片/月。

此外，SK海力士还成立了SK Hynix System IC公司，开始进军晶圆代工市场。今年7月，SK Hynix还通过SK Hynix System IC（即“SHSI”）子公司跟无锡实业发展集团达成合作协议，双方合作成立了合资公司海辰半导体（无锡）有限公司。

其中，无锡实业发展集团占股49.9%，SHSI占股50.1%，双方将在无锡建设一座200mm晶圆厂，用于生产传感器、电源管理芯片等。今年11月，SK海力士再次透过子公司SHSI向无锡晶圆代工事业出资1，000万美元，但资金用途视厂房兴建计划而定。