季丰电子目前拥有蔡司GeminiSEM500扫描电镜SEM热场发射扫描电子显微镜,可为客户呈现任意样品表面更强的信号和更丰富的细节信息;尤其在低的加速电压下,可在避免样品损伤的同时,快速获取更高清晰度的图像。
同时,经优化和增强的Inlens探测器可高效地采集信号,帮助客户快速获取清晰的图像,并使样品损伤降至更低;在低电压下拥有更高的信噪比和更高的衬度,二次电子图像分辨率1kV达0.9nm,500V达1.0nm,无需样品台减速,即可进行分析。
设备规格指标
1、分辨率:15 kV时0.6nm;1 kV时 0.9nm (借助串联减速功能选项)
2、加速电压:0.02-30 kV 连续可调
3、放大倍数:×20-2,000K
4、探针电流:3pA-20nA
能谱与超级能谱
1、能谱仪(EDS) Oxford EDS System(UltimMax80)
2、EBSD Oxford EBSD System(Symmetry)
拍照效果
1、对于导电性差的有机物有很好的成像效果;
2、热场SEM对碳化硅注入P/N结的成像要比冷场SEM更新清楚。
审核编辑:彭菁
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原文标题:季丰电子新引入热场电子显微镜—G500
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