日本电子株式会社：推出新型肖特基场发射(FE)扫描电子显微镜JSM-F100

日本电子株式会社：推出新型肖特基场发射（FE）扫描电子显微镜JSM-F100

―全新级别的智能分析场发射扫描电子显微镜（FE-SEM），兼具高分辨率和强大的可操作性―

东京--（BUSINESS WIRE）--（美国商业资讯）--日本电子株式会社（JEOL Ltd.） （TOKYO:6951） （www.jeol.com）（总裁兼首席运营官：大井泉）宣布，将于2019年8月推出新型肖特基（Schottky）场发射扫描电子显微镜JSM-F100。

背景

扫描电子显微镜（SEM）应用于不同的领域：纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等。随着应用范围的扩大，SEM用户需要快速、高质量的数据采集及简单的组成信息确认和无缝操作。

JSM-F100搭载我们备受推崇的浸没式（In-lens）肖特基Plus场发射电子枪和“Neo Engine”（电子光学控制系统），以及全新的GUI “SEM Center”和创新的“实时图像视觉增强器-人工智能（LIVE-AI）滤镜”，实现了高空间分辨率成像和可操作性的最优组合。此外，标配的JEOL能量色散型X射线光谱仪（EDS）完全整合于“SEM Center”内，可实现从图像到元素分析结果的无缝采集。JSM-F100提供卓越的工作效率，高出我们之前的JSM-7000系列50%或以上，实现了生产量的显著提高。

特性

浸没式肖特基Plus场发射电子枪

电子枪与低像差聚光透镜的进一步整合带来更高的亮度。低加速电压下具有足够的探头电流，支持从高分辨率成像到高速元素映射的各种功能。

混合式透镜（HL）

混合式透镜（HL）将静电场镜和磁场透镜相结合，支持各种样品的高空间分辨率成像和分析。

Neo Engine（新型电子光学引擎）

Neo Engine是一款先进的电子光学控制系统，可显著提高自动化功能的精确度和可操作性。

“SEM Center”新功能

全新GUI “SEM Center”全面整合SEM成像和EDS分析，提供借助FE-SEM实现的下一代可操作性和高分辨率图像。

“Zeromag”新功能

整合的“Zeromag”可实现从光学成像到SEM成像的无缝过渡，让定位目标样品区域变得十分轻松。

全新LIVE-AI滤镜*

通过利用人工智能（AI）功能，整合的LIVE-AI滤镜可以提供更高质量的实时图像。与图像融合处理不同，这款新的滤镜能够显示无缝移动的实时图像，无残留图像，对于快速搜索观察区域、对焦和消像散器调整十分有效。

*选配

规格

分辨率(1 kV) 1.3纳米

分辨率(20 kV) 0.9纳米

加速电压 0.01至30 kV

标准检测器 高位电子检测器(UED)，二次电子检测器(SED)

电子枪 浸没式肖特基Plus场发射电子枪

探头电流 几pA至300 nA (30 kV)
几pA至100 nA (5 kV)

物镜 混合式透镜(HL)

样品台 全优中心(eucentric)测角仪样品台

样品移动 X轴：70毫米，Y轴：50毫米，Z轴：2至41毫米
倾斜： –5至70°，旋转：360°

EDS检测器 能量分辨率：133 eV或更低
可检测元素：B（硼）至U（铀）
检测面积：60平方毫米

目标年销量

60台/年

日本电子株式会社

3-1-2， Musashino， Akishima， Tokyo， 196-8558， Japan

大井泉，总裁兼首席运营官

（股票代码：6951，东京证券交易所第一部）