Micralyne展示标准MEMS工艺技术平台，加速新兴传感应用商业化

据麦姆斯咨询报道，Micralyne将于本月26日~28日在美国加州圣何塞举办的2018年国际传感器展（Sensors Expo 2018）上，展示其为加速新兴传感应用商业化而打造的标准MEMS工艺技术平台，包括MicraMOx、MicraGEM-Si、MicraFluidic以及MicraSilQ。

集成微热板的金属氧化物气体传感器，芯片尺寸1mm x 1mm

金属氧化物气体传感器芯片

Micralyne即将展示的MicraMOx平台，是一款环境传感应用的高度微型化金属氧化物气体传感器MEMS工艺平台。本地化的气体传感，对于工业和家居环境正变得至关重要。结合物联网（IoT）的应用，微型化气体传感器可以成本经济地实现互联时空的环境气体传感。尽管气体传感器已经上市多年，但是它们还需要在功耗、成本、稳定性和气体选择性方面进一步改善。Micralyne将在本次国际传感器展上详细介绍其创新气体传感器平台的制造工艺、设计选型和参考设计。

Micralyne开发的空间光阀Spatial Light Valves（SLV），是一种基于MEMS器件的可调谐空间光调制器，应用衍射原理提供了一种高效的开关、调制和光衰减方法，可用于LiDAR（激光雷达）和飞行时间（ToF）相机中的结构光照明等3D成像和传感应用。

MicraGEM-Si平台是Micralyne专为光学应用开发的标准MEMS工艺新平台。该平台可用于开发一系列基于MEMS技术的光学器件，例如MEMS微镜、光学开关以及生物传感器等。MEMS微镜正越来越多地应用于众多第三代光学应用的环境感知，例如自动驾驶汽车、先进机器人、手势识别等等。Micralyne业务发展部及CRO副总裁Paul Pickering先生将在本届展会的“MEMS和传感器技术成为您身边的物联网解决方案”会前研讨会上，分享其“MEMS微镜点亮传感新应用”的主题演讲。

MicraFluidic平台采用多种标准化的微流控工艺，并为生物医疗客户提供了多种基板选择，例如硅、玻璃和绝缘体上硅（SOI）。其设计灵活性可为介电电泳和嵌入式传感器实现多级通道和电极图案化，并可选择玻璃或硅作为输入和输出端口。

MicraFluidic平台提供各种材料和加工选择，极大地提高设计灵活性

Micralyne为MEMS器件提供的MicraSilQ晶圆级封装（WLP）工艺平台，是一种整合晶圆级制造、密封封装和硅通孔（TSV）架构的一站式客户解决方案。MicraSilQ工艺平台降低了初始开发成本，最终制造组件的成本、尺寸、厚度和重量，同时还提供了改善的电气性能、可靠性以及到3D IC设计的扩展性能。

MicraSilQ晶圆级封装（WLP）工艺平台

Micralyne的MEMS技术平台为MEMS设计提供了模块化的方案，能够利用半定制化器件制造实现快速的原型设计，并能在保持产品质量和一致性的同时快速上量。Micralyne早在2006年就开始提供标准化的工艺和MEMS构建模块，致力于为客户降低MEMS开发成本、加速MEMS器件上市时间。Micralyne的技术平台包括工艺设计套件（PDK）、设计向导、CAD模型和器件关键参数的计算。