销售维修涡轮分子泵 HiPace 700

型号： HiPace 700

--- 产品参数 ---

品牌德国 Pfeiffer
产地德国

--- 产品详情 ---

因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准
上海伯东德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 700. 涡轮分子泵 HiPace 700 对氮气抽速可达到 685 l/s, 紧凑设计, 低能耗的同时保证分子泵更高抽吸能力.
涡轮分子泵 HiPace 700 占地面积小, 任意位置安装. 适用于工业环境-保护等级 IP 54, 通过半导体 S2, UL / CSA 认证. 通过分子泵控制器监控运算数据, 集成风冷.
涡轮分子泵 HiPace 700 可选分子泵控制器 TC 400/TCP 350, 多种密封方式和配件供选择, 上海伯东可协助客户选型并提供完善的售后维修服务.

涡轮分子泵 HiPace 700 特性
稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统
结构紧凑, 满足更小的安装空间要求
分子泵高气流量和高抽速
基本款任意角度安装
防护等级 IP 54, 符合工业环境要求
可应用于腐蚀性气体工艺
分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证

涡轮分子泵 HiPace 700 技术参数

* 控制器选择 TCP 350, 可以使分子泵在辐射环境中使用
* P 系列: 耐粉尘
* PLUS 系列: 极微振动,杂散磁场低
* H 系列: 更高的压缩比,尤其适用于轻质气体

Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 700 套装:
上海伯东提供完整的分子泵套装供您选择, 包含一台 HiPace 700 分子泵主机和控制电源等, 分子泵套装满足基本的应用, 可以安装在所有情况下并轻松调试涡轮分子泵. 套装内配置如下:

标准款涡轮分子泵 HiPace 700 在售型号
对所有气体的高抽吸能力和更高压缩,适合所有标准应用

进气口	分子泵控制器	I/O接口	集成电源包	资料下载
DN 160 ISO-F	TC 400	RS-485, 远程, Profibus	-	中文 PDF
DN 160 CF-F	TC 400	RS-485, 远程, Profibus	-	中文 PDF
DN 160 ISO-K	TC 400	RS-485, 远程, Profibus		中文 PDF
DN 160 ISO-F	另配 TCP 350	-	-	中文 PDF
DN 160 CF-F	另配 TCP 350	-	-	中文 PDF
DN 160 ISO-K	另配 TCP 350	-	-	中文 PDF
DN 160 ISO-F	TC 400	RS-485, 远程	-	中文 PDF
DN 160 CF-F	TC 400	RS-485, 远程	-	中文 PDF
DN 160 ISO-K	TC 400	RS-485, 远程	-	中文 PDF
DN 160 ISO-F	TC 400	RS-485, 远程	是	中文 PDF
DN 160 CF-F	TC 400	RS-485, 远程	是	中文 PDF
DN 160 ISO-K	TC 400	RS-485, 远程	是	中文 PDF

耐粉尘涡轮分子泵 HiPace 700P 在售型号
适用于镀膜及半导体工艺以及诸如电子束焊接装置等易受灰尘影响的工业应用

进气口	分子泵控制器	I/O接口	集成电源包	资料下载
DN 160 ISO-F	TC 400	RS-485, 远程	-	中文 PDF
DN 160 CF-F	TC 400	RS-485, 远程	-	中文 PDF
DN 160 ISO-K	TC 400	RS-485, 远程		中文 PDF

低振动涡轮分子泵 HiPace 700 PLUS 在售型号
极微振动,杂散磁场低,适用于高要求分析设备,例如电子显微镜

进气口	分子泵控制器	I/O接口	集成电源包	资料下载
DN 160 ISO-K	TC 400	RS-485, 远程	-	中文 PDF
DN 160 CF-F	TC 400	RS-485, 远程	-	中文 PDF
DN 160 ISO-F	TC 400	RS-485, 远程		中文 PDF

更高压缩比涡轮分子泵 HiPace 700 H 在售型号
更高的压缩比,尤其适用于轻质气体,实现超高真空

进气口	分子泵控制器	I/O接口	集成电源包	资料下载
DN 160 ISO-K	TC 400	RS-485, 远程	-	中文 PDF
DN 160 CF-F	TC 400	RS-485, 远程	-	中文 PDF
DN 160 ISO-F	TC 400	RS-485, 远程	-	中文 PDF
DN 160 ISO-K	另配 TCP 350	-	-	中文 PDF
DN 160 CF-F	另配 TCP 350	-	-	中文 PDF
DN 160 ISO-F	另配 TCP 350	-	-	中文 PDF

涡轮分子泵应用 HiPace 700
镀膜: 光伏, CD / DVD / PVD, 光学镀膜, 硬质涂层
工业: 医学技术, 工业检漏, 电子束焊接, 隔离真空, 热处理, 灯管制造
研发: 核研究, 等离子研究, 粒子加速器, 冷冻研究, 纳米技术, 生物技术
分析仪器: 质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: PVD, CVD, Beamline, Inspection, MBE, Loard-Locks

上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速最高 90,000 rpm, 极限真空最大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推荐分子泵典型应用 >>

若您需要进一步的了解涡轮分子泵详细信息, 请联络上海伯东叶女士分机 107

现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东叶女士
上海伯东版权所有, 翻拷必究！

为你推荐

产品文章方案

inTEST Sigma M256 高低温试验箱2023-12-01 10:58

产品型号：Sigma M256 产地：美国腔室体积：255 L
inTEST Sigma M170 高低温试验箱2023-12-01 10:55

产品型号：Sigma M170 产地：美国温度范围：-185°C 至 400°C 腔室体积：165 L
inTEST Sigma M58 高低温试验箱2023-12-01 10:19

产品型号：Sigma M58 产地：美国宽温度范围：-185 °C 至 500°C 腔室体积：59 L
inTEST Sigma M10 高低温试验箱2023-12-01 10:06

产品型号：Sigma M10 产地：美国宽温度范围：-185°C 至 500°C 腔室体积：10 L
inTEST Sigma 高低温试验箱, 温度环境试验箱2023-12-01 09:39

产品型号：Sigma 品牌：inTEST 产地：美国温度范围：-185°至 +500°C
普发分流式分子泵 SplitFlow2023-07-11 10:13

产品型号：SplitFlow 产地：德国
普发分子泵 HiPace 80 Neo2023-07-11 10:09

产品型号：HiPace 80 Neo 产地：德国
销售维修电容真空计 PCR 2802023-05-26 15:04

产品型号：PCR 280 品牌：德国 Pfeiffer
销售维修普发冷阴极真空计2023-05-26 15:01

产品型号：IKR 251 品牌：德国 Pfeiffer
普发全量程真空计 PKR 2512023-05-26 14:54

产品型号：PKR 251 产地：德国

氦质谱检漏仪应用于半导体新材料和设备管道检漏2023-11-09 15:31

上海伯东提供半导体新材料和设备管道检漏解决方案, 助力企业生产高质量的六氯乙硅烷 Si₂Cl₆. 六氯乙硅烷广泛应用于有机硅化合物的合成, 电子半导体材料制造.

半导体新材料设备
147浏览量
氦质谱检漏仪应用于真空镀膜生产线2023-08-07 14:35

Si3 N4 氮化硅镀膜系统. 在某次维护之后, 抽真空时只能达到 80 mbar 的压力. 为了在如此高的工作压力之下依然能够进行检漏, 推荐选用上海伯东氦质谱检漏仪 ASM 340. ASM 340 检漏仪特有的定性大漏检测模式 ( 在 100 hPa 即可进行大漏测试 ) , 借助此模式即可定位存在的漏点.

检漏仪模式系统
417浏览量
Gel-Pak VR真空释放盒应用于50V GaN HEMT 芯片2023-08-07 14:28

50V GaN HMET 芯片采用上海伯东美国 Gel-Pak VR 真空释放盒进行包装, Gel-Pak 采用了无残胶的膜技术, 可以将芯片牢固地固定住, 避免在运输和储存过程中因为碰撞等造成芯片的损害.

GaN SiC 芯片
395浏览量
inTEST热流仪逻辑芯片 FPGA高低温冲击测试2023-08-07 14:21

FPGA 芯片需要按照 JED22-A104 标准做温度循环 TC 测试, 让其经受极端高温和低温之间的快速转换. 一般在 -55℃~150℃ 进行测试, 传统的环境箱因为升降温速度受限, 无法满足研发的快速循环测试需求. 上海伯东美国 inTEST 热流仪 ATS-710E 变温速率约 10 s, 实现 FPGA 芯片极端高温和低温之间的快速转换测

FPGA 测试芯片高低温测试机
524浏览量
上海伯东分子泵应用于 LED 芯片退火合金炉2023-08-07 14:14

LED 芯片退火合金炉属于真空炉的一种, 需要在真空环境下实现 LED 芯片的退火, 合金, 湿氧氧化, 欧姆电极烧结等工艺. 腔体真空度一般在 10-3 至 10-6 hPa 之间, 上海伯东德国 Pfeiffer 分子泵凭借大抽速,高稳定性广泛应用于退火合金炉设备.

led 真空泵芯片
467浏览量
美国KRi 离子源光通信应用, 助力5G技术发展2023-08-07 14:08

光通信的信息载体是光波, 为了进一步提高光通信系统中光信号的传输质量, 满足光通信系统的使用要求, 上海伯东美国 KRi 离子源通过离子束溅射, 辅助薄膜沉积等工艺在离子束镀膜系统中实现光模块, 光器件等薄膜元件的精密加工. 离子源典型应用例如, 在光纤连接面镀 AR 增透膜 (减反射膜), 达到减少光纤对光的损耗, 增加光的透过率, 减少反射的工艺效果.

5G 光纤器光通讯离子源通信
512浏览量
美国 KRi 考夫曼离子源应用于双腔室高真空等离子 ALD 系统2023-07-07 14:55

上海伯东美国 KRi 考夫曼离子源 KDC 40 应用于双腔室高真空等离子 ALD 系统, 实现小规模试验中 2-4 英寸硅片等半导体衬底表面的清洁, 确保样品表面清洁无污染, 满足 TiN, ZnO, Al2O3, TiO2 等制备.

离子源系统
467浏览量
Aston™ 质谱仪 ALD 工艺控制的原位计量2023-06-20 16:58

上海伯东 Aston™ 质谱分析仪是一款快速, 强大的化学特异性气体质谱仪, 提供 ALD 过程控制解决方案, 可在这些非等离子体（“lights-off”）过程中提供原位计量和控制. 它可以实现快速, 化学特定的原位定量气体分析, 低至十亿分之几的水平, 提供 ALD 过程控制所需的实时数据.

工艺控制质谱分析
298浏览量
Aston 质谱仪对小开口区域的蚀刻有更高的灵敏度2023-06-20 16:49

上海伯东日本 Aston™ 质谱仪能够进行准确且可操作的端点检测, OA% 是传统 OES 计量解决方案的一个数量级（1/10）. Aston™ 质谱仪解决方案适用于具有高蚀刻吞吐量和大量重复相同步骤的工艺中的实时 EPD. 这是通过高信噪比 SNR 实现的, 从而避免了 OES 设备中常见的模棱两可和复杂的多变量分析算法.

刻蚀检测蚀刻质谱仪
308浏览量
Aston 过程质谱应用于 EUV 极紫外光源卤化锡原位定量2023-06-20 16:21

上海伯东日本 Atonarp Aston™ 过程质谱分析仪通过快速, 可操作, 高灵敏度的分子诊断数据实现了更佳的反射板镀锡层清洁, 并且 Aston™ 过程质谱的实时氢气 H2 监测也降低了每个 EUV 工具的氢气消耗

EUV EUV光刻机晶圆
286浏览量

HiCube 80 Eco 分子泵组搭配低温阻抗测试仪应用2023-12-08 14:29

上海伯东代理德国 Pfeiffer 涡轮分子泵组 HiCube 80 Eco 成功应用于低温阻抗测试系统, 分析电子元器件在低温环境下电阻的变化.

测试仪电子元器件
160浏览量
SF6 密度继电器氦质谱检漏法2023-12-08 14:21

应用于各类电厂, 变电站, 电气化铁道等行业的 SF6 六氟化硫密度继电器, 通过监测密封容器中的 SF6 气体的密度, 诊断出电气设备中 SF6 气体的泄漏, 防止因为 SF6 气体密度的下降而导致其电气绝缘能力的下降. 严重时会发生闪络击穿, 威胁人身设备安全.

仪表密度继电器继电器
189浏览量
新能源汽车 IGBT 功率器件高低温冲击测试2023-12-01 15:48

车用 IGBT 模块对产品性能和质量的要求要明显高于消费和工控领域, 需要通过严格的车规认证, 汽车 IGBT 模块测试标准主要参照 AEC-Q101 和 AQG-324, 其中温度冲击, 功率循环, 温度循环, 结温等是其中重要的测试要求, 功率循环和温度循环作为代表的耐久测试, 测试循环次数可能从几万次到十万次不等.

IGBT 新能源汽车测试
217浏览量
氦质谱检漏仪压力传感器芯片检漏2023-12-01 14:56

应用于新能源汽车的压力传感器芯片, 属于电子元器件的一种, 传统的压力传感器包括电路分析, 材料分析和无源器件分析等, 即包括 MEMS 芯片, ASIC 芯片, 电容, 电阻, 陶瓷 PCB, 塑封盖, 金属套管等, 因为特殊而严苛的工作环境, 这些元器件通过焊接工艺封装到一起, 这就要求压力传感器的密封性高, 在使用过程中不会出现泄漏的问题, 为保证密封质量, 国标要求压力传感器芯片出厂前必

传感器新能源汽车芯片
237浏览量
Gel-Pak 芯片包装盒光通讯行业应用: OSA流转工序以及自动 PnP拾取2023-12-01 14:38

光通讯行业中, 光纤收发器 Optical Transceiver 一般由 OSA , IC, PCB 板和壳体组成. 上海伯东代理美国 Gel-Pak 芯片包装盒适用于 OSA 制程之间的流转工序以及自动 PnP 设备实现自动化拾取.

OSA 光通讯芯片
300浏览量
inTEST ATS-710 车载芯片高低温测试解决方案2023-12-01 14:24

上海伯东美国 inTEST ThermoStream 高低温冲击热流仪, 为车载芯片提供稳定和高效的温度测试解决方案, 保证车规产品的高安全性, 高可靠性和高稳定性, inTEST 高度适配各类测试平台, 协助企业生产研发符合 AEC-Q100 可靠性认证的车载芯片.

车载芯片高低温测试
157浏览量
inTEST Sigma 高低温试验箱材料拉伸测试2023-12-01 14:13

上海伯东代理美国 inTEST Sigma 高低温试验箱通过可设计的孔径, 端口直接集成到拉伸测试装置. 将温度测试与拉伸测试相结合, 进行材料拉伸高低温试验. 温度范围 -185°C 至 500°C, 符合 ASTM, MIL-STD 测试要求.

测试设备高低温试验箱
124浏览量
氦质谱检漏仪 EUV ***检漏2023-06-02 15:53

上海伯东客户日本某生产半导体用光刻机公司, 光刻机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空, 因为设备整体较大, 需要对构成光刻机的真空相关部件进行检漏且要求清洁无油, 满足无尘室使用要求, 为了方便进行快速检漏, 采购伯东 Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310.

EUV EUV光刻机
405浏览量
氦质谱检漏仪电子束***检漏2023-06-02 15:49

上海伯东客户某光刻机生产商, 生产的电子束光刻机 Electron Beam Lithography System 最大能容纳 300mmφ 的晶圆片和 6英寸的掩模版, 适合纳米压印, 光子器件, 通信设备等多个领域的研发及生产. 经过伯东推荐采购氦质谱检漏仪 ASM 310 用于电子束光刻机腔体检漏.

光刻机检漏
508浏览量
高真空排气台密封性泄露检测2023-06-02 15:37

上海伯东某客户生产研发多工位高真空和超高真空排气台, 实现多工位同时抽真空的效果, 真空度需要稳定在 -7 mbar, - 8 mbar, 包含真空系统在内的多个组件, 均需要进行密封性泄露测试, 以保证高真空性能. 经过上海伯东推荐真空系统核心组件分子泵选用德国 Pfeiffer HiPace 系列, 并使用无油干式氦质谱检漏仪 ASM 340D 对整个排气台进行密封性检漏.

检测
365浏览量

进气口		DN 160 ISO-K	DN 160 CF-F	DN 160 ISO-F	DN 160 ISO-K	DN 160 CF-F	DN 160 ISO-F
图片
分子泵控制器	型号	标配 TC 400	标配 TC 400	标配 TC 400	选配 TCP 350	选配 TCP 350	选配 TCP 350
抽速	Ar L/S	665	665	665	665	665	665
	H2 L/S	555	555	555	555	555	555
	He L/S	655	655	655	655	655	655
	N2 L/S	685	685	685	685	685	685
压缩比	Ar	1X1011	1X1011	1X1011	1X1011	1X1011	1X1011
	H2	4X105	4X105	4X105	4X105	4X105	4X105
	He	3X107	3X107	3X107	3X107	3X107	3X107
	N2	>1X1011	>1X1011	>1X1011	>1X1011	>1X1011	>1X1011
全转速时气体流量	Ar hPa l/s	3.5	3.5	3.5	1.5	1.5	1.5
	H2 hPa l/s	>14	>14	>14	>8	>8	>8
	He hPa l/s	20	20	20	5	5	5
	N2 hPa l/s	6.5	6.5	6.5	3	3	3
极限压力	hPa	＜1X10-7	＜5X10-10	＜1X10-7	＜1x10-7	＜5x10-10	＜1x10-7
最大预抽真空	N2 hPa	11	11	11	11	11	11
电压 ± 5 %	VDC	48	48	48	48	48	48
最大电流	A	8.4	8.4	8.4	8.75	8.75	8.75
转速± 2 %	RPM	49200	49200	49200	49200	49200	49200
声噪	dB(A)	≤50	≤50	≤50	≤50	≤50	≤50
允许最大磁场	mT	6	6	6	6	6	6
启动时间	min	2	2	2	5.5	2.5	2.5
重量	kg	11.5	17.4	12.1	10.6	16.5	10.6

分子泵	分子泵电源与控制器连接线	风扇	OmniControl 400	接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m
				接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m

伯东企业（上海）有限公司

销售维修涡轮分子泵 HiPace 700

--- 产品参数 ---

--- 产品详情 ---

为你推荐

inTEST Sigma M256 高低温试验箱2023-12-01 10:58

inTEST Sigma M170 高低温试验箱2023-12-01 10:55

inTEST Sigma M58 高低温试验箱2023-12-01 10:19

inTEST Sigma M10 高低温试验箱2023-12-01 10:06

inTEST Sigma 高低温试验箱, 温度环境试验箱2023-12-01 09:39

普发分流式分子泵 SplitFlow2023-07-11 10:13

普发分子泵 HiPace 80 Neo2023-07-11 10:09

销售维修电容真空计 PCR 2802023-05-26 15:04

销售维修普发冷阴极真空计2023-05-26 15:01

普发全量程真空计 PKR 2512023-05-26 14:54

氦质谱检漏仪应用于半导体新材料和设备管道检漏2023-11-09 15:31

氦质谱检漏仪应用于真空镀膜生产线2023-08-07 14:35

Gel-Pak VR真空释放盒应用于50V GaN HEMT 芯片2023-08-07 14:28

inTEST热流仪逻辑芯片 FPGA高低温冲击测试2023-08-07 14:21

上海伯东分子泵应用于 LED 芯片退火合金炉2023-08-07 14:14

美国KRi 离子源光通信应用, 助力5G技术发展2023-08-07 14:08

美国 KRi 考夫曼离子源应用于双腔室高真空等离子 ALD 系统2023-07-07 14:55

Aston™ 质谱仪 ALD 工艺控制的原位计量2023-06-20 16:58

Aston 质谱仪对小开口区域的蚀刻有更高的灵敏度2023-06-20 16:49

Aston 过程质谱应用于 EUV 极紫外光源卤化锡原位定量2023-06-20 16:21

HiCube 80 Eco 分子泵组搭配低温阻抗测试仪应用2023-12-08 14:29

SF6 密度继电器氦质谱检漏法2023-12-08 14:21

新能源汽车 IGBT 功率器件高低温冲击测试2023-12-01 15:48

氦质谱检漏仪压力传感器芯片检漏2023-12-01 14:56

Gel-Pak 芯片包装盒光通讯行业应用: OSA流转工序以及自动 PnP拾取2023-12-01 14:38

inTEST ATS-710 车载芯片高低温测试解决方案2023-12-01 14:24

inTEST Sigma 高低温试验箱材料拉伸测试2023-12-01 14:13

氦质谱检漏仪 EUV ***检漏2023-06-02 15:53

氦质谱检漏仪电子束***检漏2023-06-02 15:49

高真空排气台密封性泄露检测2023-06-02 15:37