--- 产品参数 ---
- 品牌 KRi
- 产地 美国
- 类型 RF 射频离子源
--- 产品详情 ---
因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准
大口径射频离子源 RFICP 380
上海伯东美国 KRi 大口径射频离子源 RFICP 380, 3层栅极设计, 栅极口径 38cm, 提供离子动能 100-1200eV 宽束离子束, 最大离子束流 > 1000mA, 满足 300 mm (12英寸)晶圆应用. 广泛应用于离子束刻蚀机.
KRi 射频离子源 RFICP 380 特性
1. 放电腔 Discharge Chamber, 无需电离灯丝, 通过射频技术提供高密度离子, 工艺时间更长. 2kW & 1.8 MHz, 射频自动匹配
2. 离子源结构模块化设计
3. 离子光学, 自对准技术, 准直光束设计, 自动调节技术保障栅极的使用寿命和可重复的工艺运行
4. 全自动控制器
5. 离子束动能 100-1200eV
6. 栅极口径 38cm, 满足 300 mm (12英寸)晶圆应用
射频离子源 RFICP 380 技术规格:
射频离子源 RFICP 380 基本尺寸:
上海伯东美国考夫曼 KRI 大口径射频离子源 RFICP 220, RFICP 380 成功应用于 12英寸和 8英寸磁存储器刻蚀机, 8英寸量产型金属刻蚀机中, 实现 8英寸 IC 制造中的 Al, W 刻蚀工艺, 适用于 IC, 微电子,光电子, MEMS 等领域.
作为蚀刻机的核心部件, KRI 射频离子源提供大尺寸, 高能量, 低浓度的离子束, 接受客户定制, 单次工艺时间更长, 满足各种材料刻蚀需求!
若您需要进一步的了解 KRi 射频离子源, 请联络上海伯东叶女士,分机107
现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士
上海伯东版权所有, 翻拷必究!
为你推荐
-
inTEST Sigma M256 高低温试验箱2023-12-01 10:58
产品型号:Sigma M256 产地:美国 腔室体积:255 L -
inTEST Sigma M170 高低温试验箱2023-12-01 10:55
产品型号:Sigma M170 产地:美国 温度范围:-185°C 至 400°C 腔室体积:165 L -
inTEST Sigma M58 高低温试验箱2023-12-01 10:19
产品型号:Sigma M58 产地:美国 宽温度范围:-185 °C 至 500°C 腔室体积:59 L -
inTEST Sigma M10 高低温试验箱2023-12-01 10:06
产品型号:Sigma M10 产地:美国 宽温度范围:-185°C 至 500°C 腔室体积:10 L -
inTEST Sigma 高低温试验箱, 温度环境试验箱2023-12-01 09:39
产品型号:Sigma 品牌:inTEST 产地:美国 温度范围:-185°至 +500°C -
普发分流式分子泵 SplitFlow2023-07-11 10:13
产品型号:SplitFlow 产地:德国 -
普发分子泵 HiPace 80 Neo2023-07-11 10:09
产品型号:HiPace 80 Neo 产地:德国 -
销售维修电容真空计 PCR 2802023-05-26 15:04
产品型号:PCR 280 品牌:德国 Pfeiffer -
销售维修普发冷阴极真空计2023-05-26 15:01
产品型号:IKR 251 品牌:德国 Pfeiffer -
普发全量程真空计 PKR 2512023-05-26 14:54
产品型号:PKR 251 产地:德国
-
氦质谱检漏仪应用于半导体新材料和设备管道检漏2023-11-09 15:31
-
氦质谱检漏仪应用于真空镀膜生产线2023-08-07 14:35
-
Gel-Pak VR真空释放盒应用于50V GaN HEMT 芯片2023-08-07 14:28
-
inTEST热流仪逻辑芯片 FPGA高低温冲击测试2023-08-07 14:21
-
上海伯东分子泵应用于 LED 芯片退火合金炉2023-08-07 14:14
-
美国KRi 离子源光通信应用, 助力5G技术发展2023-08-07 14:08
-
美国 KRi 考夫曼离子源应用于双腔室高真空等离子 ALD 系统2023-07-07 14:55
-
Aston™ 质谱仪 ALD 工艺控制的原位计量2023-06-20 16:58
-
Aston 质谱仪对小开口区域的蚀刻有更高的灵敏度2023-06-20 16:49
-
Aston 过程质谱应用于 EUV 极紫外光源卤化锡原位定量2023-06-20 16:21
-
HiCube 80 Eco 分子泵组搭配低温阻抗测试仪应用2023-12-08 14:29
-
SF6 密度继电器氦质谱检漏法2023-12-08 14:21
-
新能源汽车 IGBT 功率器件高低温冲击测试2023-12-01 15:48
-
氦质谱检漏仪压力传感器芯片检漏2023-12-01 14:56
-
Gel-Pak 芯片包装盒光通讯行业应用: OSA流转工序以及自动 PnP拾取2023-12-01 14:38
-
inTEST ATS-710 车载芯片高低温测试解决方案2023-12-01 14:24
-
inTEST Sigma 高低温试验箱材料拉伸测试2023-12-01 14:13
-
氦质谱检漏仪 EUV ***检漏2023-06-02 15:53
-
氦质谱检漏仪电子束***检漏2023-06-02 15:49
-
高真空排气台密封性泄露检测2023-06-02 15:37