--- 产品参数 ---
- 产地 中国台湾
--- 产品详情 ---
因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准
连续式多腔磁控溅镀设备 In-Line sputter
上海伯东代理的连续式多腔磁控溅镀设备可精确控制其溅镀制程条件, 为客户提供更优质的薄膜, 广泛应用于纳米研究技术, 材料研究, 氧化物, 氮化物和金属材料的研究, 太阳能电池和触碰萤幕等行业.
In-Line 的溅镀沉积是指基板在一个或多个溅镀阴极下方以线性的方式通过以获取其薄膜沉积. 其基板沿着轨道穿过各个真空腔内. 其电浆产生器有许多种类并且每一种都可使用, 例如射频电源, 直流电源或脉冲直流电源. 还可以容纳诸如溅镀蚀刻, 基板加热或电浆清洗之类的可选步骤, 并且具有完整的仪器和控制装置可用于金属导电薄膜, 电介质, 光学薄膜或其他溅镀应用.
连续式多腔磁控溅镀设备配置和优点
客制化基板尺寸最大为 1100 x 1300 mm2 (玻璃)
薄膜均匀度小于 ±5%
高沉积速率 ≥ 250nm/min 和高效率阴极
溅镀功率: 射频5Kw, 直流或脉冲直流 20kW
具有高均匀的气体分布的流量控制器
稳定的温度控制, 可将基板加热到 400°C
水平或垂直溅镀
腔体
客制化的腔体尺寸取决于基板尺寸和其应用
具有显示功能的全量程真空计和用于压力控制的 Baratron 真空计
腔体的极限真空度约为10-7 Torr
选件
基板载台回流线
自动传送机构
OES, RGA 或制程监控的额外备用端口
应用领域
纳米研究技术
产品质量控制和质量检查
材料研究
太阳能电池
触碰屏幕
TFT-LCD
氧化物, 氮化物和金属材料的研究
若您需要进一步的了解上海伯东磁控溅射镀膜机, 请联络上海伯东叶女士 分机 107
现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士
上海伯东版权所有, 翻拷必究!
为你推荐
-
inTEST Sigma M256 高低温试验箱2023-12-01 10:58
产品型号:Sigma M256 产地:美国 腔室体积:255 L -
inTEST Sigma M170 高低温试验箱2023-12-01 10:55
产品型号:Sigma M170 产地:美国 温度范围:-185°C 至 400°C 腔室体积:165 L -
inTEST Sigma M58 高低温试验箱2023-12-01 10:19
产品型号:Sigma M58 产地:美国 宽温度范围:-185 °C 至 500°C 腔室体积:59 L -
inTEST Sigma M10 高低温试验箱2023-12-01 10:06
产品型号:Sigma M10 产地:美国 宽温度范围:-185°C 至 500°C 腔室体积:10 L -
inTEST Sigma 高低温试验箱, 温度环境试验箱2023-12-01 09:39
产品型号:Sigma 品牌:inTEST 产地:美国 温度范围:-185°至 +500°C -
普发分流式分子泵 SplitFlow2023-07-11 10:13
产品型号:SplitFlow 产地:德国 -
普发分子泵 HiPace 80 Neo2023-07-11 10:09
产品型号:HiPace 80 Neo 产地:德国 -
销售维修电容真空计 PCR 2802023-05-26 15:04
产品型号:PCR 280 品牌:德国 Pfeiffer -
销售维修普发冷阴极真空计2023-05-26 15:01
产品型号:IKR 251 品牌:德国 Pfeiffer -
普发全量程真空计 PKR 2512023-05-26 14:54
产品型号:PKR 251 产地:德国
-
氦质谱检漏仪应用于半导体新材料和设备管道检漏2023-11-09 15:31
-
氦质谱检漏仪应用于真空镀膜生产线2023-08-07 14:35
-
Gel-Pak VR真空释放盒应用于50V GaN HEMT 芯片2023-08-07 14:28
-
inTEST热流仪逻辑芯片 FPGA高低温冲击测试2023-08-07 14:21
-
上海伯东分子泵应用于 LED 芯片退火合金炉2023-08-07 14:14
-
美国KRi 离子源光通信应用, 助力5G技术发展2023-08-07 14:08
-
美国 KRi 考夫曼离子源应用于双腔室高真空等离子 ALD 系统2023-07-07 14:55
-
Aston™ 质谱仪 ALD 工艺控制的原位计量2023-06-20 16:58
-
Aston 质谱仪对小开口区域的蚀刻有更高的灵敏度2023-06-20 16:49
-
Aston 过程质谱应用于 EUV 极紫外光源卤化锡原位定量2023-06-20 16:21
-
HiCube 80 Eco 分子泵组搭配低温阻抗测试仪应用2023-12-08 14:29
-
SF6 密度继电器氦质谱检漏法2023-12-08 14:21
-
新能源汽车 IGBT 功率器件高低温冲击测试2023-12-01 15:48
-
氦质谱检漏仪压力传感器芯片检漏2023-12-01 14:56
-
Gel-Pak 芯片包装盒光通讯行业应用: OSA流转工序以及自动 PnP拾取2023-12-01 14:38
-
inTEST ATS-710 车载芯片高低温测试解决方案2023-12-01 14:24
-
inTEST Sigma 高低温试验箱材料拉伸测试2023-12-01 14:13
-
氦质谱检漏仪 EUV ***检漏2023-06-02 15:53
-
氦质谱检漏仪电子束***检漏2023-06-02 15:49
-
高真空排气台密封性泄露检测2023-06-02 15:37