近日,滨松光电开发了新型半导体故障分析系统:PHEMOS-X C15765-01,该系统利用可见光到近红外光来分析缺陷。之所以能在单体设计中实现这一点,是因为采用了新型多波长激光扫描仪,并结合了该公司“独特的内部光学设计技术”。
滨松方面称:“通过应用本公司内部的光学设计技术,我们从头开始重新设计了分析系统的部件,如用激光束扫描半导体器件的激光扫描仪、定位半导体器件的光学台、宽视场观察的微距镜头等。这样一来,灵敏度、分辨率、准确度和易用性都更高了,这些功能与我们目前的系统相比都有了很大的提高。”
滨松新型半导体测试仪
设计和操作
PHEMOS-X是一种半导体故障分析系统,可配备多达5个激光器,输出波长从可见光到近红外光不等。PHEMOS-X仅用一台设备就可以高灵敏度、高分辨率地定位故障。
当对半导体设备施加电压时,半导体设备中的故障点会发出光和热。在对半导体器件施加电压时,用激光束扫描半导体器件,会使故障点的电流和工作状态发生变化。
利用这些特性,通过检测代表施加电压引起的半导体器件变化的信号,进行激光扫描,并将这些信号以图像的形式可视化,就可以估算出故障位置。
光损耗抑制
该公司补充说,传统的激光扫描仪是专门为波长为1300纳米的近红外光设计的。通过PHEMOS-X,我们重新设计了激光扫描仪的光学系统,它可以抑制五种激光器中的光学损耗。
“因此,只需一台设备就可以进行半导体故障分析,利用从532纳米的可见光到1340纳米的近红外光的多波长激光束。相比之前使用波长较短的激光,可以更详细地观察半导体器件。它还能确保高灵敏度,以寻找和观察功率半导体的故障点,这些故障点对可见光有反应,而非普通半导体的红外光。”
滨松在发布公告中表示,PHEMOS-X将于2021年4月1日面向日本本土和国际半导体设备制造商开始销售。
责任编辑:lq
声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。
举报投诉
原文标题:滨松光电打造新型半导体测试仪
文章出处:【微信号:MEMSensor,微信公众号:MEMS】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。
相关推荐
半导体开发出第一个单片式集成电路时,事情开始变得非常有趣了。看一看下面这张由计算机历史博物馆提供的照片,它展示了一些参与这一开创性工作的早期先驱(我们称其为八叛逆)。请注意,照片中的每个人都穿着夹克
发表于 03-27 16:17
半导体开发出第一个单片式集成电路时,事情开始变得非常有趣了。看一看下面这张由计算机历史博物馆提供的照片,它展示了一些参与这一开创性工作的早期先驱(我们称其为八叛逆)。请注意,照片中的每个人都穿着夹克,打着
发表于 03-13 16:52
随着人工智能的普及,世界数据中心的功耗正在急剧增长,为了应对这一挑战,日本电信运营商NTT与美国芯片巨头英特尔宣布将共同开发一款利用“光电融合”技术的半导体。
发表于 01-31 15:03
•378次阅读
特性进行更精确的分析氩离子抛光机可以实现平面抛光和截面研磨抛光这两种形式:半导体芯片氩离子截面切割抛光后效果图: 聚焦离子束FIB切割+SEM分析聚焦离子束FIB测试原理:聚焦离子束(FIB)
发表于 01-02 17:08
来源:《半导体芯科技》杂志 由韩国蔚山科技大学(UNIST)能源与化学工程学院Ji-Hyun Jang教授领导的研究小组在光电极开发方面取得了重大突破。通过与东西大学(Dongseo
发表于 12-12 09:13
•193次阅读
SPA6100型半导体参数分析仪是一款半导体电学特性测试系统,具有高精度、宽测量范围、快速灵活、兼容性强等优势。产品可以同时支持DC电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)以及高流高
发表于 12-01 14:00
•284次阅读
光电倍增管为滨松的H7422,输出电流0-2uA,采样频率为10MHZ,想输出电压为0-5V,应该选用哪个放大器,跪求大神帮助~
发表于 11-22 06:17
二极管滨松的S2386-5K,运放AD8615(后来又试了AD8641),负电源接了-0.3V。
使用光电二极管跨阻放大,光电二极管没有偏置,使用光伏模式,但后级输出是正弦波信号,参考
发表于 11-14 07:48
近日某院校送修是德半导体器件参数分析仪B1500A,客户反馈半导体器件参数分析仪半导体器件参数分析
发表于 09-28 16:33
•603次阅读
设计了半导体激光器恒定功率驱动电路,采用负反馈运算放大电路构成恒流源,电容充放电模块构成稳压环节,以高精度电流检测芯片 MAX4008监测 PIN光电探测器探测电流,以此为基准,引入功率反馈环节,稳定输出功率。阐述并分析了电路原
发表于 09-19 07:15
半导体失效分析 半导体失效分析——保障电子设备可靠性的重要一环 随着电子科技的不断发展,电子设备已成为人们生活和工作不可或缺的一部分,而半导体
发表于 08-29 16:29
•805次阅读
GaN功率半导体与高频生态系统(氮化镓)
发表于 06-25 09:38
来源:满天芯,谢谢 编辑:感知芯视界 6月7日,意法半导体和三安光电先后官宣,双方拟合资建造一座可实现大规模量产的8英寸碳化硅器件工厂。该合资厂全部建设总额预计约32亿美元(约合人民币228亿元
发表于 06-09 09:05
•517次阅读
ISO15765 OBD2 PID
发表于 05-29 11:17
•4次下载
有机半导体材料可广泛应用于OLED、OPVC或OFET中,为开发具有优异光电性能的新型有机半导体材料,需要深入研究有机
发表于 05-23 14:17
•992次阅读
评论