采用新型晶体管技术的SOTB制程工艺助力环保

2020年10月28日，由深圳市工信局、深圳市福田区人民政府指导，高科技行业门户OFweek维科网主办、OFweek维科网·电子工程承办的“2020中国国际集成电路产业创新发展高峰论坛”在深圳会展中心（福田）5楼牡丹厅隆重举行。瑞萨电子（中国）有限公司技术支持经理王乾最后登场为大家带来《先进制程工艺助力智能环保型社会创建》主题报告。在演讲报告中SOTB制程工艺多次被提及。

瑞萨电子（中国）有限公司技术支持专家 王乾

SOTB制程工艺

SOTB制程工艺是采用 SOI （Silicon on Insulator） 的新型晶体管技术。

王乾表示，作为瑞萨电子的独家制程工艺，SOTB能够将通常难以兼顾的活动时功耗与休眠时功耗均降低到极限，同时还兼容在一枚芯片上的SOTB与Bulk混合结构。在晶片基板上的薄硅层下方形成了极薄的绝缘层（BOX:Buried Oxide）。通过避免让杂质混入硅层，可实现稳定的低电压运行，能效更佳，发挥更好的运算性能。同时，通过在待机时控制BOX层下方的硅基板电位（反偏压控制），可减少泄漏电流，降低待机耗能。

由于SOTB的晶片采用薄BOX结构，容易除去BOX，可以在同一芯片上形成SOTB晶体管和Bulk CMOS晶体管。由此可以使用现有Bulk产品的IP、I/O端口、充电泵、各类模拟IP等。

RE家族特性

瑞萨RE产品家族采用瑞萨突破性的SOTBTM（Silicon on Thin Buried Oxide薄氧化埋层覆硅）制程工艺、基于Arm® Cortex®-M0+内核构建，且针对用于传感器控制的更紧凑的物联网设备的产品设计进行了优化，适用于智能家居、智能楼宇、环境感测、（建筑物/桥梁）结构监测、跟踪器和可穿戴设备等应用。

王乾特别介绍了RE01，RE01在操作和待机期间都具有极低的功耗。在1．62V时最高可运行64MHz，ULP-CP得分705已通过EEMBC认证。在只有少量电流的环境中，它可以实现较长的电池寿命和高速运行，并提供以前无法实现的值。

那它们是如何助力环保的呢？

王乾表示，RE家族通过支持3种省电功能降低功耗：电源模式、低功耗模式和电源控制模式。

1． 通过切断不必要的电源来降低功耗。

2． 通过停止时钟并运行所需的最少功能来降低功耗。

3． 功率控制模式控制内部LDO，通过使用高效的外部DCDC可以显着降低有功电流。

随着可持续发展观念的深入人心，环保也成为科技企业发展道路上不可忽略的重要一环。如何通过科技发展来保护环境，值得每个科技企业深入探索。科技的价值在于让一切变得可能，瑞萨电子身为一家具有领导性和值得信赖的智能晶片解决方案供应商，将会继续努力为人类创造出更舒适美好的生活。

责任编辑：gt