傅里叶分束镜FTIR分束器/补偿器
应用和操作原理
傅里叶分束镜FTIR分束器/补偿器对用于傅里叶变换红外（FTIR）光谱仪中的迈克尔逊干涉仪方案。FTIR光谱仪通常基于迈克尔逊干涉仪，其中一个镜子是可移动的。两个反射镜位于干涉仪的两个臂上并且彼此垂直定向。分束器放置在直角的顶点，并相对于每个镜子以45°角定向。传递到分束器的光被分成两部分（理想地为50％/ 50％），它们进一步传播到两臂并从镜子反射。从分束器反射一次的光束（图中的上光束）也必须通过那里并通过倾斜的补偿板返回，以补偿另一个光束实际通过分束板三次而不是一次。在一定距离上扫描可移动镜，产生到达检测器的两个光束的干涉图案。
图1迈克尔逊干涉仪作为FTIR光谱仪的一部分。
材料和光谱范围
通过选择适当的分束器和补偿器材料，可以覆盖从可见光到远红外线的波长范围。
材料选择包括以下材料：熔融石英（石英）（可见/近红外），CaF2，BaF2和ZnSe（近红外/中红外）。
高电阻率FZ-Silicon也可用于远红外区域的分光镜。由于菲涅耳反射，它可以在非常宽的波长范围内用于~50％/ 50％的光束分裂而无需任何涂层。
分束器与材料的典型工作波长范围。
Fused Silica可见光红外熔融石英 | 0.4-1.1μm（25,000-9,000 cm -1） 或0.65-3.0μm（15,000-3,300 cm -1） |
| CaF2氟化钙 | 0.65-8.5μm（15,000-1,200 cm -1） |
| BaF2氟化钡 | 0.65-12μm（15,000-850 cm -1） |
| ZnSe硒化锌 | 2-20μm（5,000-500 cm -1） |
| HRFZ-Si高阻硅 | 50-1000μm（200-10 cm -1） |
规格和公差
为了实现FTIR光谱仪的高分辨率，应该以非常高的精度生产分束器/补偿器对。特别是表面平整度，楔形公差和厚度匹配是非常重要的。
可实现的规格：
| 直径，mm | 到100 |
| 表面平整度，λ为633 nm | 到1/10 |
| 楔形公差，弧秒 | 到+/- 10 |
| 厚度匹配，μm | 到1 |
最佳可能的规格取决于材料和参数组合。
涂层
为了对准目的，涂层的组合图案可以施加在FTIR分束器/补偿器的表面上。可见光束的“窗口” - 取决于干涉仪的尺寸设计的特殊形状的可见区域与IR区域一起放置。典型的涂层图案如下图所示。
| 部分 | 区域 | 涂层类型 | 反射/透射 |
| 分束器 | A | 部分反射 | R / T = 50％/ 50％@ 633nm |
| B | 部分反射 | R / T =（50/50 +/- 10 ）％@7-14μm 或R / T =（50/50 +/- 20）％@2.5-14μm | |
| C | AR | R <0。5％@ 633 nm | |
| D | BBAR | R ave <4 ％@7-14μm 或R ave <5％@2.5-14μm | |
| 补偿器 | A | AR | R <0。5％@ 633 nm |
| B | BBAR | R ave <4 ％@7-14μm 或R ave <5％@2.5-14μm | |
| C | AR | R <0。5％@ 633 nm | |
| D | BBAR | R ave <4 ％@7-14μm 或R ave <5％@2.5-14μm |
图2和表3 ZnSe分束器/补偿器对的涂层图（例）。
图3 ZnSe分束器/补偿器对的典型透射曲线。
可根据要求提供其他涂层图案和涂层类型。
屹持光电长期为FTIR光谱仪提供分束器/补偿器对（无涂层和涂层成品部件的基板），为欧洲，美国和远东地区的客户提供服务。
产品规格（可定制）：
| 型号 | 直径 | 厚度 |
| W-ZnSe-D63.5-T8-C-(B) | 63.5mm | 8mm |
| W-ZnSe-D63.5-T8-C-(B) | 63.5mm | 3.5mm |
| W-ZNSE-D36-T3-C (В) | 36mm | 3mm |
| W-ZNSE-D36-T3-C (C) | 36mm | 3mm |
 | 下载傅里叶分束镜FTIR分束器/补偿器对数据表（PDF，221 KB） |
