屹持光电提供各种纳米单晶硅衬底2D线性纳米棒，为工业和科研提供低成本的纳米光子学研究。基板可用于光学、生物学、化学、物理学（例如中子散射）、聚合物研究、纳米压印、微流体等各种应用。如果需要，可以用金属或介电涂层涂覆基底。大多数表面特征具有略微梯形的横截面轮廓，具有直平行台面和沟槽。也可以使用格状结构。提供多种特征尺寸和沟槽深度。可以在发货之前拍摄基板的SEM图像以验证确切的轮廓。
表中显示的尺寸代表目标值。周期的精度优于0.5％，而沟槽深度和线和空间的宽度可能与目标值相差15％。SEM用于说明目的。可定制更精确尺寸信息。
纳米单晶硅衬底2D线性纳米棒规格
描述 | 值 |
基材宽度和高度公差 | 标准公差±0.2 mm |
通光孔径（CA） | 距基板边缘0.5 mm（图案可延伸至基板边缘） |
基材厚度 | 0.675±0.050mm |
CA表面质量 | P / N “-P”：60/40，最高20/10 |
CA表面质量 | P / N “-S” ：80/100 |
CA外表面质量 | 无要求 |
材料 | 单晶硅，反应离子蚀刻 |
1、线性纳米棒（线+间隔）
P/N | 周期（nm） | 凹槽深度（nm） | 工作周期1 | 线宽度2（nm | 尺寸3（mm） |
SNS-C72-1212-50-P | 139 | 50 | 50％ | 69.5 | 12.5×12.5×0.7 |
SNS-C72-2525-50-P | 139 | 50 | 50％ | 69.5 | 25×25×0.7 5 |
SNS-C36-1212-110-P | 278 | 110 | 50％ | 139 | 12.5×12.5×0.7 |
SNS-C24-1212-110-P | 416.6 | 110 | 50％ | 208 | 12.5×12.5×0.7 |
SNS-C20-0808-150-D45-P | 500 | 150 | 44％ | 220 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C20-0808-350-D45-P | 500 | 350 | 44％ | 220 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C20-0808-150-D60-P | 500 | 150 | 60％ | 300 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C20-0808-350-D60-P | 500 | 350 | 60％ | 300 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C18-2009-110-D50-P | 555.5 | 110 | 50％ | 278 | 20×9×0.7 |
SNS-C18-2009-140-D50-P | 555.5 | 140 | 50％ | 278 | 20×9×0.7 |
SNS-C18-2009-110-D29-P | 555.5 | 110 | 29％ | 158 | 20×9×0.7 |
SNS-C18-2009-140-D29-P | 555.5 | 140 | 29％ | 158 | 20×9×0.7 |
SNS-C16.7-0808-150-D45-P | 600 | 150 | 43％ | 260 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C16.7-0808-350-D45-P | 600 | 350 | 43％ | 260 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C16.7-0808-150-D55-P | 600 | 150 | 55％ | 330 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C16.7-0808-350-D55-P | 600 | 350 | 55％ | 330 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C16.5-2912-190-P | 606 | 190 | 50％ | 303 | 29×12×0.7 |
SNS-C16.5-2912-190-S 4 | 606 | 190 | 50％ | 303 | 29×12×0.7 |
SNS-C16.5-2924-190-P | 606 | 190 | 50％ | 303 | 29×24.2×0.7 5 |
SNS-C14.8-2410-170-P | 675 | 170 | 32％ | 218 | 24×10×0.7 |
SNS-C14.8-2430-170-P | 675 | 170 | 32％ | 218 | 24×30.4×0.7 5 |
SNS-C14.3-0808-150-D45-P | 700 | 150 | 47％ | 330 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C14.3-0808-350-D45-P | 700 | 350 | 47％ | 330 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C14.3-0808-150-D55-P | 700 | 150 | 55％ | 375 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C14.3-0808-150-D55-P | 700 | 150 | 55％ | 375 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C12-1212-200-P | 833.3 | 200 | 50％ | 416 | 12.5×12.5×0.7 |
SNS-C12-2525-200-P | 833.3 | 200 | 50％ | 416 | 25×25×0.7 5 |
SNS-C11.7-1212-200-P | 855 | 200 | 50％ | 428 | 12.5×12.5×0.7 |
SNS-C11.7-2525-200-P | 855 | 200 | 50％ | 428 | 25×25×0.7 5 |
1 占空比表示线（台面）宽度与周期的比率。
2 表示台面的宽度值。
3 第二维对应于凹槽长度。
4 以“-S”结尾的是“科研”等级。它至少有80％的可用面积。可能存在高达80/100表面质量值。
5 可提供更大的自定义尺寸
2、2D纳米图案（矩形和六边形网格）
P/N | 周期（nm） | 格子类型 | 凹槽深度 | 特征宽度（nm） | 尺寸（mm） |
S2D-24B3-0808-150-P | 700 | 矩形 | 150 | 260 | 8×8.3×0.7 |
S2D-24B3-0808-350-P | 700 | 矩形 | 350 | 260 | 8×8.3×0.7 |
S2D-18B3-0808-150-P | 700 | 矩形 | 150 | 350 | 8×8.3×0.7 |
S2D-18B3-0808-350-P | 700 | 矩形 | 350 | 350 | 8×8.3×0.7 |
S2D-24C2-0808-150-P | 600 | 六角 | 150 | 165 | 8×8.3×0.7 |
S2D-24C2-0808-350-P | 600 | 六角 | 350 | 165 | 8×8.3×0.7 |
S2D-18C2-0808-150-P | 600 | 六角 | 150 | 240 | 8×8.3×0.7 |
S2D-18C2-0808-350-P | 600 | 六角 | 350 | 240 | 8×8.3×0.7 |
S2D-24C3-0808-150-P | 700 | 六角 | 150 | 220 | 8×8.3×0.7 |
S2D-24C3-0808-350-P | 700 | 六角 | 350 | 220 | 8×8.3×0.7 |
S2D-18C3-0808-150-P | 700 | 六角 | 150 | 290 | 8×8.3×0.7 |
S2D-18C3-0808-350-P | 700 | 六角 | 350 | 290 | 8×8.3×0.7 |
S2D-24D2-0808-150-P | 600 | 六角孔 | 150 | 180 | 8×8.3×0.7 |
S2D-24D2-0808-350-P | 600 | 六角孔 | 350 | 180 | 8×8.3×0.7 |
S2D-18D3-0808-150-P | 700 | 六角孔 | 150 | 200 | 8×8.3×0.7 |
S2D-18D3-0808-350-P | 700 | 六角孔 | 350 | 200 | 8×8.3×0.7 |
S2D-24D3-0808-150-P | 700 | 六角孔 | 150 | 290 | 8×8.3×0.7 |
S2D-24D3-0808-350-P | 700 | 六角孔 | 350 | 290 | 8×8.3×0.7 |
rect post
hex post
hex hole
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