在半导体芯片制造的精密流程中，晶圆清洗台通风橱扮演着至关重要的角色。
晶圆清洗是芯片制造的核心环节之一，旨在去除晶圆表面的杂质、微粒以及前道工序残留的化学物质，确保晶圆表面的洁净度达到极高的标准，为后续的光刻、蚀刻等关键步骤提供完美基底。而通风橱则是这一过程的“守护者”。
从结构上看，它具备合理的设计。外壳通常采用坚固且耐腐蚀的材料，以应对长期接触各类化学试剂的环境。内部空间宽敞，足以容纳晶圆清洗台及相关清洗设备，操作人员能在相对舒适、便捷的区域内进行作业。
其通风系统是关键所在。强大的排风装置持续运转，将清洗过程中产生的挥发性有机化合物（VOCs）、酸性或碱性气体及时抽离。高效滤网能够捕捉细微颗粒物，防止它们重新沉降到晶圆表面，保证空气质量符合严格的洁净度要求。精准的风速控制，既能有效排烟，又可避免紊流对清洗作业造成干扰，确保晶圆始终处于稳定、清洁的微环境中。
在芯片制造追求极致精密与高成品率的当下，晶圆清洗台通风橱凭借卓越的性能，为提升芯片品质、推动半导体产业进阶筑牢根基，是现代洁净车间不可或缺的重要设施。
