苏州埃利测量仪器有限公司

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• 发布了文章 2025-09-29 13:03

  面向5G通信应用：高阻硅晶圆电阻率热处理稳定化与四探针技术精准测量

  

  随着5G通信技术的快速发展，高阻绝缘体上硅在微波与毫米波器件、探测器等领域的应用需求激增。然而，高阻硅片电阻率的快速准确测量仍面临技术挑战。四点探针法（4PP）因其高精度、宽量程等特点被视为优选方法，但其测量结果易受时间因素影响，导致数据不稳定。本研究基于Xfilm埃利四探针方阻仪的系统性测量，首次观察到高阻硅片电阻率的时间依赖性行为，揭示表面氧化引起的界面

  5G通信 晶圆 测量 电阻

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• 发布了文章 2025-09-29 13:03

  基于传输线法（TLM）的多晶 In₂O₃薄膜晶体管电阻分析及本征迁移率精准测量

  

  氧化物半导体（如In₂O₃）因其高电子迁移率（>10cm²/Vs）和低漏电流特性，成为下一代显示技术和三维集成器件的理想候选材料。然而，传统场效应迁移率（μFE）的测量常因寄生电阻（Rs/d）和通道尺寸偏差（ΔL/ΔW）导致低估本征迁移率（μFEi）。本文通过传输线法（TLM），结合Xfilm埃利TLM接触电阻测试仪，在多晶In₂O₃-TFT中分离通道电阻R

  TLM 电阻 薄膜晶体管

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• 发布了文章 2025-09-29 13:03

  IEC新标准赋能石墨烯产业化：范德堡法与在线四探针法实现薄层电阻精准测量

  

  石墨烯因其超高的载流子迁移率、机械强度和化学稳定性，被视为下一代电子器件、传感器及能源材料的核心候选。但其产业化面临关键挑战：不同合成方法（如CVD、机械剥离）导致材料性能差异显著，亟需国际标准确保测量的一致性与可重复性。为此，国际电工委员会（IEC）发布了IECTS62607-6-7（范德堡法）和IECTS62607-6-8（在线四探针法），旨在规范大面积

  传感器 测量 电阻 石墨烯

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