MEMS是什么?具体有什么用?

微机电系统也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。

高性能MEMS是什么意思 陀螺仪的作用又是什么

首先,回顾ADI MEMS是如何定义一些主要规格的。然后,简单看一下基于加速度计的倾斜检测及相关主要规格,接着通过余下的讨论介绍自主机器人示例。接下来将更具体地说明陀螺仪规格,同时细致分析各种误差源、表征技巧以及各种情况的考虑因素。接着将讨论惯性测量单元(IMU),也就是各种传感器的组合,包括但不必限于加速度计和陀螺仪。然后是IMU的其他相关考虑点,最后将简短总结一些优质产品的性能。 高性能MEMS 相信大家从各种渠道听见过高性能MEMS一词,诚然,性能是一个相对指标,依特定应用要求而异。单个参数是无法定义它的。为此,必须清楚,仅依赖单个参数来表征器件是片面的,人们戏称这种情况为规格近视眼。高性能意味着所有规格支持对应用很重要的主要指标,可以使用个例子来说明这一点。举个例子,一个假设陀螺仪,用于长期稳定性较为重要的应用中。虽然此陀螺仪是假设的,其规格却是真实的。这些规格均来自优质陀螺仪的数据手册。该陀螺仪的关键指标最初是10/小时,这是评估陀螺仪长期稳定性时常用的一个指标。但如果细察此陀螺仪的参数,可以看到其g灵敏度为0.1/秒/g。在对信号进行数字化时,器件出现一些ADC误差。基准电压源不稳定性...

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