集成电路制造技术集现代超精细加工技术之大成,是信息产业的核心技术。集成电路设备,作为集成电路制造的重要基础之一,是全上下游产业链的重要环节,更是众多企业竞争的战略制高点。人工智能、大数据、物联网等新势能的崛起,提升了对半导体设备精密性的要求,更将设备业推向欣欣向荣的发展阶段。在这波国际浪潮中,中国设备产业从“自力更生”的创业阶段,走过了“引进与转型”的探索发展阶段,来到了“战略调整与政策扶持”的稳扎稳打阶段。但是,我国设备业在迅猛发展的同时,本土设备业的不足以及弊端也日益突出。
新势能推动全球设备业发展
人类正处于一种新运算时代的开始。这种新运算时代中,从视觉方式到感知方式都将发生一些变化。例如人机交互模式,从最初的键盘输入,逐渐变成触摸识别,再到如今火热的语音识别,人工智能、大数据、物联网等市场驱动因素正在逐渐改变生活和产业。与此同时,整个市场对于更高运算性能以及更高存储容量的需求直线上升,可以预测,未来半导体工艺将变得日益复杂以及将更依赖于设备升级。这是半导体设备厂投入新一轮强劲增长态势的主要原因。
“半导体产业的快速增长得益于物联网、智能汽车、人工智能、5G商用进程加快应用的需求,以及驱动全球存储器需求大爆发,从而提升设备业需求。”中国电科首席专家柳滨说。
2017年,国际晶圆制造进入10nm/7nm节点,10nm/7nm的制造线相继投资建设,据了解,10nm/7nm工艺设备投资占2017年半导体全年投资的55%。高端显示制造设备需求持续增长,包括10.5代大尺寸FPD制造设备和OLED制造设备,更是成为市场热需,市场释放出强劲的设备需求,设备业将保持数年的增长态势。
中国市场获得国际关注
“从2010年到如今,全球的半导体设备业都在逐渐增长,没有任何一个工业的发展速度能类似于半导体业,这是因为半导体产业是一个全球化产业。这是一个伟大的时代,也充满着巨大的机会,很多国家都正在快速发展,中国也是如此。中国正逐渐成为今后半导体生产的一大生力军。”盛美半导体设备董事长兼首席执行官王晖在盛美半导体设备(上海)亚太制造中心开业庆典上对记者说。
根据SEMI预测,2018年,半导体设备的销售额达到601亿美元,比2017年增长7.5%。在这一波的增长中,中国将会是半导体设备支出活跃的市场,越来越多的跨过公司和国内芯片制造商都将选择在中国建设新的晶圆厂。
泛林集团—亚太区供应链运营主管Nic Rossi曾透漏,泛林集团与中国企业早就存在着良好的的合作关系。除此之外,Nic Rossi表示,泛林集团与中国高等院校同样达成了合作。“中国在全球半导体市场中占据重要地位,中国已经成为、甚至将继续成为半导体设备的主要市场及供应商。目前,中国的供应基地已经成为泛林集团工厂及备件制造的关键来源。我们希望未来在中国不断扩大产业投资。”Nic Rossi在2018中国半导体材料和零部件创新发展大会上说。
单类设备供给质量突破是重点
虽然全球知名大厂都将中国列为重点发展国家,中国也拥有着庞大的市场空间,但是对于中国设备企业来说,要走的路还有很长。目前,中国半导体设备产业面临的最大困境是单类设备的供给质量的突破,尽快解决市场占有率低的问题。柳滨向记者介绍,设备供给质量的突破,对于我国设备业来说并不简单,因为它涉及到设备性能、工艺适用性、可靠性以及应用服务等方面。“设备供给质量是单类设备市场占有率的基础,也是设备制造商品牌和声誉的名片,是设备制造商持续发展的市场保证。”柳滨说。
柳滨认为,中国设备企业完成单类设备供给质量的突破,需要在两方面下“苦工”。“一方面,设备制造商要按照符合半导体制造设备的开发规律,重视应用需求、进行应用工艺研发,建立工艺验证试验或引导生产线。另一方面,在设备制造商内部形成真正意义上的专业设备公司体制运行机制,注重各类专业技术人才队伍的建设,按照设备产业链价值环节从事经营活动。”柳滨说。
在突破单类设备供给质量的前提下,设备制造和产线应用界还应该形成产业联盟,将下游制造线建线列为发展方向。“由此加强整线设备集成与服务能力的建设,提升半导体设备在半导体制造产业中的国产化率。”柳滨说。
在单类设备质量得以提升的同时,设备产业链的扩展也是一大挑战,这对我国设备企业赢得客户十分重要。Nic Rossi表示,想要扩展产业链,首先需要提升客户的信任值,尤其是在同质化的供应链中做到优质的差异化服务。“其次,厂商应该做到能够进行弹性生产,快速为客户形成解决方案,以此扩展的供应链,会更贴近客户。最后,优质的企业文化、高效的操作、完善的商业流程及系统、高效的领导力及灵活性都将帮助企业赢得客户。”Nic Rossi说。
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