差动电容传感器原理及应用

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上传日期: 2011-03-04

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标签:电容传感器(24)

差动电容传感器越来越广泛地应用于诸如压力、
加速度、直线位移、转角等物理量的测量,其电路结构
依测量要求不同而不同.但其基本原理都是和用比斜
信号处理法以传感器电容容量的变化来反映被测量的
变化.电容变化可 是线性或非线性的。利用比倒信号
处理法可 实现棱测量的精确.线性检测。所谓比例信
号处理法即用传感器中两电容之差与两电容之和的比
值来线性地反映棱测量。因此需要专门的信号处理电
路将传感器电容变化转换为易于检测的电量,已经出
现的技术方法有开关一电容(s/c)法,模数转换(A/
D)法、电容、频率转换法、电容相位转换法等,其中适
用于CMOS集成电路的SIC 法由于时钟馈线的影响
精度较低,C/F法可rJ选到很高的精度,但由于需要微
处理器来进行比斜运锋而难以满足时实时、快速的要
求。近年来,^ 们在提高精度和速度方面不断探索,提
出了各种提高精度和速度的方法。下面介绍两种实用
的高精度、高速度差动电容传感器信号处理电路。


 

 

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