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通常性能较差或具有低频共振的机械上，即使其在半闭环控制下稳定运行，而使用全闭环控制时，有时也会产生明显振动，且通过常规的滤波器等方法无法消除。
针对这种情况，就可以使用双重位置反馈功能。此功能就是将全闭环的机械系统稳定地控制成类似半闭环控制的功能，可以明显消除机械性能不佳、无法达到光栅尺精度要求导致的机械振动。
备注：此功能属于选项功能。目前在0i-D、0i-F、31i-A、31i-B和Power Motion i等系列系统中可用。
1.控制原理
双重位置反馈控制的方框图如下所示。
在上图中，ER1为半闭环的错误计数器，ER2为全闭环的错误计数器。一次迟延系统传递函数通过下式来表示。
一次迟延系统传递函数＝（1＋ts）-1
所以实际错误ER将基于时间常数t改变：
当时间常数t=0时，实际错误ER=ER2（全闭环的错误计数器）
当时间常数t=∞时，实际错误ER=ER1（半闭环的错误计数器）
根据一次迟延时间常数项，即可利用半闭环来控制过渡状态，利用全闭环来控制定位。根据此原理，也可以将移动中的振动控制成类似半闭环的方式。
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