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摘要：阐述了一种新型的HE-NE激光位移传感器，具有自校准功能以及没有原理上的误差。利用频率分裂技术，将一个纵模间隔分为4个宽度相等的区间，在这4个区间内激光器具有不同的光功率输出。当一个频率移动过这样的一个区间，相当于激光器的一个腔镜移动了X/8可移动的反射镜与被测工件相连。这样，一支HE-NE激光器变成了一个不用干涉现象的位移传感器，其测量范围可达10MM,测量精度可达0.079UM并具有判向的功能。
关键词：频率分裂 位移测量与传感 HE-NE激光 纵模间隔
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