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ADI高校讲座系列:微机电系统(2)

EE techvideo 来源:EE techvideo 2019-08-21 06:05 次阅读

微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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