随着光通信网络的快速发展,传统以电为核心的通信器件已经不能满足高速大容量的光通信需求,MEMS光开关由于其体积小,易集成,容量大等特点,已成为全光通信网中的重要器件之一。
MEMS光开关是基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System)实现光路切换的器件。其功能如下图所示:
其中MEMS是指将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的可批量制作的微型器件或系统。MEMS光开关原理十分简单,当进行光交换时,通过静电力或磁电力的驱动,移动或改变MEMS微镜的角度,把输入光切换到光开关的不同输出端以实现光路的切换及通断。其原理图如下图所示:
相较于传统的机械光开关,MEMS光开关具有以下优点:
1.体积小,交换容量大
2.MEMS芯片可以成批量生产,故单个成本不高
MEMS光开关在OXC, MCS,光纤线路保护及监控,光纤传感,设备复用保护等方面都有着重要的应用。
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