压阻式传感器是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后,电阻率发生变化,通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量(如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度)的测量和控制。
压阻式传感器的优点:
1、灵敏度非常高,有时传感器的输出不需放大可直接用于测量;
2、分辨率高,例如测量压力时可测出10~20Pa的微压;
3、测量元件的有效面积可做得很小,故频率响应高;
4、可测量低频加速度和直线加速度。
压阻式传感器的缺点:
压阻式传感器最大的缺点是温度误差大,故需温度补偿或恒温条件下使用。
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