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--- 产品详情 ---
CP系列台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪,台阶仪测试薄膜厚度采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。
台阶仪测试薄膜厚度功能:
1)结合了360°旋转台的全电动载物台,能够快速定位到测量标志位;
2)对于批量样件,提供自定义多区域测量功能,实现一键多点位测量;
3)提供SPC统计分析功能,直观分析测量数值变化趋势;
台阶仪可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。它对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求,样品适应面广,数据复现性高、测量稳定、便捷、高效,是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。
性能特点
1.重复性和再现性,满足被测件测量精度要求
线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13um量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。
2.超微力恒力传感器:(1-50)mg可调
测力恒定可调,以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制,实现无接触损伤的精准接触式测量。
3.超平扫描平台
系统配有超高直线度导轨,杜绝运动中的细微抖动,提高扫描精度,真实反映工件微小形貌。
4.顶视光学导航系统,5MP超高分辨率彩色相机
5.全自动XY载物台, Z轴自动升降、360°全自动θ转台
6.强大的数据采集和分析系统
台阶仪软件包含多个模块,为对不同被测件的高度测量及分析评价提供充分支持。
典型应用
部分技术参数
型号 | CP200 |
测量技术 | 探针式表面轮廓测量技术 |
探针传感器 | 超低惯量,LVDC传感器 |
平台移动范围X/Y | 电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平) |
样品R-θ载物台 | 电动,360°连续旋转 |
单次扫描长度 | 55mm |
样品厚度 | 50mm |
载物台晶圆尺寸 | 150mm(6吋),200mm(8吋) |
尺寸(L×W×H)mm | 640*626*534 |
重量 | 40kg |
仪器电源 | 100-240 VAC,50/60 Hz,200W |
使用环境
相对湿度:湿度 (无凝结)30-40% RH
温度:16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)
地面振动:6.35μm/s(1-100Hz)
音频噪音:≤80dB
空气层流:≤0.508 m/s(向下流动)
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