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--- 产品详情 ---
台阶仪是一种常用的膜厚测量仪器,它是利用光学干涉原理,通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度,具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度,包括金属、陶瓷、塑料等。
CP系列台阶厚度仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪,其采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。
参数测量功能
1)台阶高度:能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料;
2)粗糙度与波纹度:能够测量样品的粗糙度和波纹度,分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线,可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数;
3)翘曲与形状:能够测量样品表面的2D形状或翘曲,如在半导体晶圆制造过程中,因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化,或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。
产品特性
1.出色的重复性和再现性,满足被测件测量精度要求
线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13um量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。
2.超微力恒力传感器:(1-50)mg可调
测力恒定可调,以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制,实现无接触损伤的精准接触式测量。
3.超平扫描平台
CP系列台阶厚度仪系统配有超高直线度导轨,杜绝运动中的细微抖动,提高扫描精度,真实反映工件微小形貌。
4.顶视光学导航系统,5MP超高分辨率彩色相机
5.全自动XY载物台, Z轴自动升降、360°全自动θ转台
6.强大的数据采集和分析系统
台阶仪软件包含多个模块,为对不同被测件的高度测量及分析评价提供充分支持。
针对测量ITO导电薄膜的应用场景,CP系列台阶厚度仪提供如下便捷功能:
1)结合了360°旋转台的全电动载物台,能够快速定位到测量标志位;
2)对于批量样件,提供自定义多区域测量功能,实现一键多点位测量;
3)提供SPC统计分析功能,直观分析测量数值变化趋势;
CP系列台阶仪广泛应用于:大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域。
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