HVS系列是我们的真空传感系列。HVS VAC 04/HVS VAC 03K/HVS VAC 03k + 04 (dual)这些微型皮拉尼式真空传感器可在压力范围内进行测量，范围从1000mbar(大气压) 降至10⁻³ mbar (HVS 04)，以及从10 mbar 降10⁻⁵mbar (HVS 03k)。它们采用小巧坚固的TO-39或TO8金属外壳。将HVS04和HVS03k组装在TO封装中，可实现全压力范围覆盖。
工作温度：
| 参数名称 | 符号 | Min | Typ. | Max | 单位 | 测试条件 |
| storage temperature（存储温度） | — | -40 | — | 120 | ℃ | — |
| operating temperature（工作温度） | — | -20 | — | 120 | ℃ | — |
电气参数：
| 参数名称 | 符号 | Min | Typ. | Max | 单位 | 测试条件 |
| chip size（芯片光敏面积） | — | — | 1.0×1.0 | — | mm² | — |
| resistance（内阻） | Rp,k | 0.75 | 0.95 | 1.15 | kΩ | 25℃ |
| leakage TO-39 header（TO39 管壳漏率） | — | — | — | 1×10−8 | mbar·l/s | 检漏气体：氦气，压差 1bar |
| operating voltage（工作电压） | — | — | 2 | 4 | V | 气压 p=1~1000mbar |
| operating voltage（工作电压） | — | — | 2 | — | V | 气压 p＜1mbar |
| signal voltage swing（输出信号幅值） | VS | 370 | — | — | mV | 海曼原厂标准测试工装 |
| signal voltage swing grade B（B 级输出幅值） | VS | 350 | — | 370 | mV | 海曼原厂标准测试工装 |
HVS 04传感器尺寸参数：
