• 产品介绍
泽攸科技JS系列台阶仪作为国产高精度表面测量设备的代表，凭借其创新的技术架构、灵活的应用场景及可靠的测量性能，可以对微纳结构进行膜厚和台阶高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量，在高校、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域有着广泛应用。
JS系列台阶仪通过金刚石探针与样品表面的接触扫描，将微观轮廓的垂直位移转化为电信号，结合高灵敏度传感器与信号处理算法，实现纳米级精度的表面特征捕捉。其核心技术亮点在于超微压力恒定控制系统，通过精密调节探针与样品间的接触压力，既避免了对软质材料的损伤，又确保了测量过程的稳定性。此外，设备搭载的摄像头实时成像系统，可同步观察样品区域与探针尖端的位置关系，辅助用户精确定位特征结构，显著提升测量效率。
作为国产科学仪器的突破性成果，JS系列台阶仪打破了国外品牌在高端表面测量设备领域的长期垄断，凭借高性价比与本地化服务优势，成为国内高校、科研机构及制造企业的优选设备。
• 特点
量测精确、功能丰富、一体式集成、模块化设计、售后便捷、极高性价比
• 应用范围
▲ 刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量
▲ 各式薄膜等应力测量
▲ 3D扫描成像
▲ 计划任务和多点扫描
▲ 批量测试晶圆，批量处理数据等
• 技术参数
关键技术指标 | 指标要求 |
台阶高度最大范围 | 160um |
台阶高度重复性 | ≤0.5nm |
探针加力范围 | 0.5mg~50mg |
单次扫描长度 | ≤55mm |
晶圆尺寸 | 可兼容6寸、8寸Wafer |
晶圆厚度 | ≤50mm |
晶圆材质 | 硅、钽酸锂、玻璃等（不透明，半透明，透明） |
图像识别系统精度 | 定位精度优于±10um |
机械动作稳定性 | 马拉松传送测试>500片 |
生产效率 | WPH≥10片（单面量测>=5个位置） |
• 软件界面
• 扫描图
18nm样品
68um样品
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