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泽攸科技 | EBL和EUV光刻机有何区别?如何影响半导体行业?2026-01-06 16:49
从技术路径上看,电子束光刻和大家熟悉的EUV光刻并不是同一类问题的解法。电子束光刻本质上是一种直接写入技术,利用聚焦电子束在抗蚀剂上逐点曝光,通过电磁控制精确描绘图形。这种方式不依赖掩模,在设计频繁迭代的研发阶段非常有优势,尤其适合量子器件、新型材料结构、原型芯片以及掩模制作等场景。半导体 1003浏览量 -
泽攸科技 | 台阶仪:微观形貌的精密解析工具 —— 原理、技术与产业化应用2025-08-19 10:31
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泽攸科技 | 电子束光刻(EBL)技术介绍2025-08-14 10:07
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泽攸科技 | 国产台阶仪和进口台阶仪相比,各有什么优势?2025-08-14 09:56