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超薄碳化硅衬底切割自动对刀精度提升策略2025-07-02 09:49
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修屏 4.0 时代:新启航数字孪生技术如何实现激光修屏修复工艺远程优化?2025-07-01 09:55
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基于机器视觉的碳化硅衬底切割自动对刀系统设计与厚度均匀性控制2025-06-30 09:59
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柔性屏激光修屏禁区突破:新启航如何实现曲面 OLED 面板的无损修复?2025-06-28 09:48
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循环经济 2.0:海翔科技如何用区块链技术追溯二手设备全生命周期2025-06-27 09:58
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自动对刀技术对碳化硅衬底切割起始位置精度的提升及厚度均匀性优化2025-06-26 09:46
摘要:碳化硅衬底切割对起始位置精度与厚度均匀性要求极高,自动对刀技术作为关键技术手段,能够有效提升切割起始位置精度,进而优化厚度均匀性。本文深入探讨自动对刀技术的作用机制、实现方式及其对切割工艺优化的重要意义。 一、引言 碳化硅衬底是第三代半导体器件的核心基础材料,其切割质量直接影响器件性能与成品率。在碳化硅衬底切割过程中,起始位置精度不足会导致切割路径偏碳化硅 615浏览量 -
碳化硅衬底切割进给量与磨粒磨损状态的协同调控模型2025-06-25 11:22
摘要:碳化硅衬底切割过程中,进给量与磨粒磨损状态紧密关联,二者协同调控对提升切割质量与效率至关重要。本文深入剖析两者相互作用机制,探讨协同调控模型构建方法,旨在为优化碳化硅衬底切割工艺提供理论与技术支撑。 一、引言 碳化硅凭借优异的物理化学性能,成为第三代半导体材料的核心。在其衬底加工环节,切割是关键工序。切割进给量直接影响切割效率与材料去除率,而磨粒磨损碳化硅 567浏览量 -
晶圆边缘 TTV 测量的意义和影响2025-06-14 09:42
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基于进给量梯度调节的碳化硅衬底切割厚度均匀性提升技术2025-06-13 10:07
碳化硅衬底切割过程中,厚度不均匀问题严重影响其后续应用性能。传统固定进给量切割方式难以适应材料特性与切割工况变化,基于进给量梯度调节的方法为提升切割厚度均匀性提供了新思路,对推动碳化硅衬底加工技术发展具有重要价值。 技术原理分析 梯度调节依据 碳化硅硬度高、脆性大,切割起始阶段,材料表面完整,刀具与材料接触状态稳定,可采用相对较大的进给量提高加工效率碳化硅 472浏览量 -
切割进给量与碳化硅衬底厚度均匀性的量化关系及工艺优化2025-06-12 10:03