新启航半导体有限公司文章

• 超薄晶圆浅切多道切割中 TTV 均匀性控制技术探讨2025-07-16 09:31

  

  超薄晶圆厚度极薄，切割时 TTV 均匀性控制难度大。我将从阐述研究背景入手，分析浅切多道切割在超薄晶圆 TTV 均匀性控制中的优势，再深入探讨具体控制技术，完成文章创作。 超薄晶圆（

  晶圆 碳化硅 399浏览量

• 超薄晶圆浅切多道切割中 TTV 均匀性控制技术研究2025-07-15 09:36

  

  我将从超薄晶圆浅切多道切割技术的原理、TTV 均匀性控制的重要性出发，结合相关研究案例，阐述该技术的关键要点与应用前景。 超薄晶圆（

  晶圆 424浏览量

• 基于浅切多道的晶圆切割 TTV 均匀性控制与应力释放技术2025-07-14 13:57

  

  一、引言 在半导体制造中，晶圆总厚度变化（TTV）均匀性是决定芯片性能与良品率的关键因素，而切割过程产生的应力会导致晶圆变形，进一步恶化 TTV 均匀性。浅切多道工艺作为一种先进的晶圆切割技术，在控制 TTV 均匀性与释放应力方面展现出独特优势，深入研究其相关技术对提升晶圆加工质量意义重大。 二、浅切多道工艺对 TTV 均匀性的控制机制 2.1 精准材料

  晶圆 碳化硅 407浏览量

• 晶圆切割中浅切多道工艺与切削热分布的耦合效应对 TTV 的影响2025-07-12 10:01

  

  一、引言 在半导体晶圆制造领域，晶圆总厚度变化（TTV）是衡量晶圆质量的关键指标，直接影响芯片制造的良品率与性能。浅切多道工艺通过分层切削降低单次切削力，有效改善晶圆切割质量，但该工艺过程中产生的切削热分布及其与工艺的耦合效应，会对晶圆 TTV 产生复杂影响 。深入研究两者耦合效应对 TTV 的作用机制，对优化晶圆切割工艺、提升晶圆质量具有重要意义。 二、

  半导体 晶圆 碳化硅 376浏览量

• 浅切多道切割工艺对晶圆 TTV 厚度均匀性的提升机制与参数优化2025-07-11 09:59

  

  一、引言 在半导体制造领域，晶圆总厚度变化（TTV）是衡量晶圆质量的关键指标之一，直接影响芯片制造的良品率与性能。传统切割工艺在加工过程中，易因单次切割深度过大引发应力集中、振动等问题，导致晶圆 TTV 厚度均匀性欠佳。浅切多道切割工艺作为一种创新加工方式，为提升晶圆 TTV 厚度均匀性提供了新方向，深入探究其提升机制与参数优化方法具有重要的现实意义。 二

  晶圆 碳化硅 412浏览量

• 晶圆切割振动监测系统与进给参数的协同优化模型2025-07-10 09:39

  

  一、引言 晶圆切割是半导体制造的关键环节，切割过程中的振动会影响晶圆表面质量与尺寸精度，而进给参数的设置对振动产生及切割效率有着重要影响。将振动监测系统与进给参数协同优化，能有效提升晶圆切割质量。但目前二者常被独立研究，难以实现最佳切割效果，构建协同优化模型迫在眉睫。 二、振动监测系统与进给参数协同优化的必要性 2.1 振动对进给参数的影响 晶圆切割时

  晶圆 监测系统 318浏览量

• 超薄晶圆切割：振动控制与厚度均匀性保障2025-07-09 09:52

  

  超薄晶圆因其厚度极薄，在切割时对振动更为敏感，易影响厚度均匀性。我将从分析振动对超薄晶圆切割的影响出发，探讨针对性的振动控制技术和厚度均匀性保障策略。 超薄晶圆（

  切割 晶圆 碳化硅 472浏览量

• 晶圆切割中振动 - 应力耦合效应对厚度均匀性的影响及抑制方法2025-07-08 09:33

  

  一、引言 在半导体晶圆制造流程里，晶圆切割是决定芯片质量与生产效率的重要工序。切割过程中，振动与应力的耦合效应显著影响晶圆质量，尤其对厚度均匀性干扰严重。深入剖析振动 - 应力耦合效应对晶圆厚度均匀性的影响机制，并提出有效抑制方法，是提升晶圆加工精度、推动半导体产业高质量发展的关键所在。 二、振动 - 应力耦合效应对晶圆厚度均匀性的影响 2.1 振动引发

  晶圆 522浏览量

• 基于多物理场耦合的晶圆切割振动控制与厚度均匀性提升2025-07-07 09:43

  

  一、引言 在半导体制造领域，晶圆切割是关键环节，其质量直接影响芯片性能与成品率。晶圆切割过程中，热场、力场、流场等多物理场相互耦合，引发切割振动，严重影响晶圆厚度均匀性。探究多物理场耦合作用下的振动产生机制，提出有效的控制策略以提升厚度均匀性，对推动半导体产业发展意义深远。 二、多物理场耦合对晶圆切割振动及厚度均匀性的影响 2.1 热 - 力场耦合作用

  晶圆 碳化硅 537浏览量

• 碳化硅衬底切割自动对刀系统与进给参数的协同优化模型2025-07-03 09:47

  

  一、引言 碳化硅（SiC）衬底凭借优异性能在半导体领域地位关键，其切割加工精度和效率影响产业发展。自动对刀系统决定切割起始位置准确性，进给参数控制切割过程稳定性，二者协同优化对提升碳化硅衬底切割质量与效率意义重大。然而，当前研究多将二者独立分析，难以满足高精度切割需求，亟需构建协同优化模型。 二、自动对刀系统与进给参数协同优化的挑战 2.1 动态交互复杂

  SiC 半导体 碳化硅 402浏览量