江苏泊苏系统集成有限公司文章

• 半导体设备光刻机防震基座如何安装？2025-02-05 16:48

  

  半导体设备光刻机防震基座的安装涉及多个关键步骤和考虑因素，以确保光刻机的稳定运行和产品质量。首先，选择合适的防震基座需要考虑适应工作环境。由于半导体设备通常在洁净的环境下运行，因此选择的搬运工具如气垫搬运车应能提供有效的减震效果，同时不会造成污染。气垫搬运车通过充气形成的气膜来实现平稳移动，有效减少振动和噪音‌。安装过程中，需要有专业的施工团队进行安装。专业

  光刻机 半导体设备 基座 1148浏览量

• 半导体设备钢结构承重平台：坚固支撑的关键力量2025-02-05 16:48

  

  一、钢结构承重平台的重要性（一）满足设备承重需求半导体设备通常较为沉重，对承重平台的要求极高。例如一些先进的半导体加工设备，其重量可能达到数吨甚至更重。钢结构承重平台以其强大的支撑力，能够轻松应对这种承重需求。一般来说，钢结构承重平台采用高强度钢材制作，其承重能力可以根据实际需求进行设计和调整。以中顺润达钢制平台货架为例，承重可达1000-3000公斤，能够

  SMT加工设备 半导体设备 946浏览量

• 如何选择适合特定半导体设备的 Type C 系列防震基座？2025-02-05 16:48

  

  1，设备重量和尺寸考量（1）首先要准确测量半导体设备的重量。TypeC系列防震基座都有其额定的承载重量范围。如果设备过重，超过基座的承载能力，基座可能会被压坏，减震功能也会失效；如果设备过轻，可能无法充分发挥基座的最佳减震性能。例如，对于重量在500-1000千克之间的半导体光刻机，就需要选择承载能力在这个重量区间且有一定余量的TypeC防震基座，一般建议选

  Type C 半导体设备 基座 984浏览量

• 半导体设备防震基座为什么要定制？2025-02-05 16:48

  

  一、定制化的必要性1，适应不同设备需求（1)半导体设备的种类繁多，包括光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等，每种设备的尺寸、重量、重心位置以及振动敏感程度都有所不同。例如，光刻机通常对精度要求极高，其工作时的微小振动都可能影响光刻的精度，因此需要专门设计的防震基座来满足其高精度的要求。而刻蚀机可能由于其内部结构和工作原理的差异，对防震基座的承载能力和阻尼特性有特殊

  半导体设备 基座 745浏览量

• 半导体设备为什么要安装防震装置？2025-02-05 16:48

  

  半导体设备安装防震装置主要有以下几方面原因：一、高精度加工要求1,光刻工艺(1)光刻是半导体制造的关键步骤，其精度要求极高。例如，在芯片制造中，光刻设备需要将电路图案精确地投射到硅片上。现代光刻技术已经能够实现几纳米甚至更小的线宽精度。如果设备受到震动，哪怕是微小的震动，都会导致光刻图案的偏移。这种偏移可能使芯片的电路结构出现缺陷，进而影响芯片的性能、功能和

  半导体制造 半导体设备 装置 789浏览量

• 半导体设备在安装防震装置需要注意哪些事项？2025-02-05 16:47

  

  1,设备特性评估(1)重量和重心分布：首先需要精确测量半导体设备的重量，因为不同的防震装置有不同的承载能力。例如，空气弹簧隔振器和钢丝绳隔振器的承载能力各有差异。同时，要确定设备的重心位置，重心分布不均匀的设备在安装防震装置时需要特别考虑，以确保各个防震装置能够均匀地分担设备重量，避免局部压力过大而影响隔振效果。(2)震动特性：了解设备本身产生的震动频率和幅

  半导体设备 装置 震动 851浏览量

• 集成电路制造设备的防震标准是如何制定的？2025-02-05 16:47

  

  集成电路制造设备的防震标准制定主要涉及以下几个方面：1,设备性能需求分析(1）精度要求：集成电路制造设备精度极高，如光刻机的光刻分辨率可达纳米级别，刻蚀机需精确控制刻蚀深度、宽度等。微小震动会使设备部件产生位移或变形，影响加工精度，降低芯片良品率。因此，防震标准要确保设备在运行时，震动不对其精度产生可察觉的影响。（2）稳定性要求：设备需长时间稳定运行，以保证

  制造设备 半导体 集成电路 977浏览量

• 如何控制半导体设备防震基座制造品管部的原材料检验流程中的质量风险?2025-02-05 16:47

  

  在半导体设备防震基座制造中，品管部对原材料检验流程质量风险的控制至关重要，可从检验前规划、检验过程把控、检验后处理等环节采取措施：一：检验前的规划与准备1，明确质量标准：与研发、生产等部门共同制定详细、明确的原材料质量标准，涵盖物理性能、化学性质、尺寸精度等方面。如规定钢材的硬度范围、橡胶的弹性指标及各类材料的允许公差等，确保检验有清晰的依据。2，完善检验流

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• 半导体新建项目洁净室工艺设备泊苏防微振平台施工流程2025-02-05 16:47

  

  半导体新建项目洁净室工艺设备泊苏防微振平台施工流程1．引言近年来高科技产业在国内经济发展上有着举足轻重的作用，半导体晶片、TFT-LCD平面显示等大型的厂房也在国内不断的兴建，规模也在不断的扩大。随着各种高科技产业制程越来越精密，相关的仪器设备对于环境振动隔离的要求也越来越严格。在半导体产业有许多设备都必须考虑降低环境振动，如检验设备SEM、SPM、TEM、

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• 如何判断半导体设备需要哪种类型的防震基座？2025-01-26 15:10

  

  在半导体制造过程中，半导体设备的运行稳定性对产品质量和生产效率起着决定性作用。由于半导体制造工艺精度极高，设备极易受到外界振动的干扰，因此选择合适的防震基座至关重要。不同类型的防震基座具备不同的特性和适用场景，准确判断设备需求，才能为其提供有效的振动防护。

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