江苏泊苏系统集成有限公司文章

• 集成电路新建项目机电二次配制定减震措施的流程是怎样的？2025-01-07 15:09

  

  制定集成电路新建项目机电二次配设备减震措施，需要从前期规划到后期的监测优化，形成一个完整的流程，以确保减震措施的有效性和可靠性。以下是具体流程：

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• 集成电路新建项目机电二次配设备安装与连接环节有哪些注意事项？2025-01-06 16:48

  

  设备安装与连接是集成电路新建项目机电二次配施工流程中的关键环节，以下是该环节的一些注意事项：

  半导体 集成电路 1216浏览量

• 什么是集成电路新建项目机电二次配？2025-01-06 16:45

  

  集成电路新建项目机电二次配是在集成电路工厂建设过程中的一个重要环节，主要涉及到在一次机电安装完成后，针对生产设备的具体需求进行的二次机电系统配置与调整。以下是其详细介绍：

  半导体 集成电路 2505浏览量

• 防震基座安装施工过程中如何保证基座的水平度?2025-01-03 16:32

  

  在防震基座安装施工过程中，保证基座水平度至关重要，可从施工前准备、安装过程控制到施工后检查等多方面采取措施，具体如下：

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• 泊苏防震基座成功解决无尘车间设备振动问题的方案2025-01-03 16:28

  

  某半导体制造企业的无尘车间内，光刻设备在运行过程中受到不明原因的振动干扰，导致光刻精度下降，产品良率从原本的 90% 降低至 70%，严重影响了生产效益和产品质量。

  半导体设备 基座 振动 799浏览量

• 无尘车间半导体制造设备的振动标准2025-01-02 15:29

  

  半导体制造设备对振动极为敏感，不同的设备及工艺对振动标准要求也有所不同。一般来说，无尘车间半导体制造设备的振动标准主要从振动频率、振幅等方面进行考量： 1，光刻设备 （1）振动频率：通常要求在 1-100Hz 范围内，振动加速度均方根值需低于 10-50μm/s²。对于极紫外光刻（EUV）等先进光刻技术，要求可能更严格，在某些关键频段甚至要低于 10μ

  半导体制造 半导体设备 振动 2012浏览量

• 如何降低半导体制造无尘车间设备振动问题的影响？2025-01-02 15:23

  

  要降低无尘车间设备振动问题的影响，需要从设备选型与安装、振动监测与控制、车间环境管理等方面综合采取措施，以下是具体方法：

  半导体制造 半导体设备 振动 1753浏览量

• 如何有效解决无尘车间半导体制造设备周边环境的振动源2024-12-31 16:11

  

  要有效解决无尘车间半导体制造设备周边环境的振动源，需要从振动源的识别与评估、主动控制、被动隔振、日常监测与维护等方面入手，以下是具体措施：

  制造设备 半导体制造 753浏览量

• 如何提升国内半导体防震基座制造企业的技术水平？2024-12-31 16:07

  

  企业自身要提高研发资金在总预算中的占比，例如从目前的 10% 提升至 15% 甚至更高。同时，积极争取政府的研发补贴、专项基金等，利用政府资源来减轻研发资金压力。

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• 半导体设备防震基座为啥要定制？2024-12-30 15:32

  

  半导体设备的种类繁多，包括光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等，每种设备的尺寸、重量、重心位置以及振动敏感程度都有所不同。例如，光刻机通常对精度要求极高，其工作时的微小振动都可能影响光刻的精度，因此需要专门设计的防震基座来满足其高精度的要求。而刻蚀机可能由于其内部结构和工作原理的差异，对防震基座的承载能力和阻尼特性有特殊的要求。

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