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主轴转速设置对了吗，TA对刀片寿命及切割品质的影响可不小2021-11-29 15:36
在晶圆划切过程中，不仅需要选择适合的划片刀，而且要关注加工条件的优化。合适的划片刀和良好的加工条件，对于获得满足工艺要求的切割效果都起着至关重要的作用。划片机 4759浏览量 -
上机别慌，划片机操作指南备一份2021-11-29 15:09
通过不断的修改切割参数及工艺设定，与划片刀达到一个稳定的平衡，有效解决崩边问题的发生，本文是切割参数与工艺设定的操作详解。5040浏览量 -
晶圆切割追求刀片与工艺的双重优化2021-11-23 20:18
在过去四十年间，刀片(blade)与划片(dicing)系统不断改进以应对工艺的挑战，满足不同类型材料切割的要求。行业不断研究刀片、切割工艺参数等对切割品质的影响，使切割能够满足日新月异的晶圆材质变化。划片机制(TheDicingMechanism)硅晶圆划片工艺是“后端”封装制程工艺中的第一步。该工艺将晶圆分成独立带有电气性能的芯片，用于随后的芯片粘合(d晶圆 3532浏览量 -
人造金刚石磨料的划切机理2021-11-13 01:34
前言切割刀片是由人造金刚石颗粒和结合剂组成，在划片设备空气主轴高速旋转下，针对某些材料进行切断、开槽等加工，具有精度高、稳定性好、效率高等特点。人造金刚石颗粒带有单独磨削能力，是起主要切削作用的磨料，本文将简单讲述该磨料的工作机理。刀片组成部分示意图切削过程分三个阶段刀片起划切作用的是切削刃，切削刃上有无数个磨粒，正是这些磨粒对工件进行切削。01滑擦阶段切削1447浏览量 -
晶圆划片机主轴转速对刀片寿命及切割品质的影响2021-11-09 14:12
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硅片切割过程中，别忘了超纯水和CO2起泡器的影响力2021-11-09 13:48
为了防止硅IC加工时产生静电，通常使用CO2起泡器去除静电。 根据CO2起泡器的电阻率，切割水有时会对刀刃（接合部）产生腐蚀，导致无法进行稳定的加工。划片机 2754浏览量
